二手日立電鏡S-3000N：掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng) （聲子）、電子振蕩 （等離子體）。

二手日立電鏡S-3000N：掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng) （聲子）、電子振蕩 （等離子體）。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。

掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測(cè)器，使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)x射線的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。正因如此，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。

 

二手日立電鏡S-3000N：技術(shù)指標(biāo)：
二次電子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式)
VP可變壓力模式分辨率 4.0nm (25kV,可變壓力模式)
放大倍數(shù)范圍 5x~300,000x(65階)
加速電壓 0.3kV~30Kv
可變壓力范圍 1~270Pa
*大樣品尺寸 150mm直徑
圖像移動(dòng)范圍 ±20µm(WD=15mm)
樣品臺(tái)(選項(xiàng))
(1) 超優(yōu)中心樣品臺(tái)
X: 32mm Y: 32mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -90°~+90°
自動(dòng)樣品臺(tái)： 無

(2) 80x40平動(dòng)式樣品臺(tái)
X: 80mm Y: 10mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -20°~+90°
圖形移動(dòng)自動(dòng)樣品臺(tái)
軟件：可選

(3)大型優(yōu)中心樣品臺(tái)
X: 100mm Y: 50mm Z: 5~40mm
R: 360°T: -0°~+60°
圖形移動(dòng)自動(dòng)樣品臺(tái)
軟件：可選

(4)冷卻樣品臺(tái)-20
X: 15mm Y: 15mm Z: 15~35mm
R: 無T: -45°~+45°
自動(dòng)樣品臺(tái)： 無
電子槍： U型鎢絲
槍偏壓
可加速電壓關(guān)聯(lián)
可變電壓(雙偏壓功能)
檢測(cè)器
SE檢測(cè)器
BSE檢測(cè)器，可變壓力模式
EDX位置 W.D.=15mm, 出入角=35°
操作語(yǔ)言 英語(yǔ)(日語(yǔ))
計(jì)算機(jī)操作系統(tǒng) PC兼容，Windows NT
SEM操作 鼠標(biāo)、鍵盤旋鈕控制盤(選件)
掃描方式 TV,慢速(4步),照相(4步),分開
顯示器 大屏幕 XGA彩色顯示器(1024 x 768像素)
自動(dòng)調(diào)節(jié)功能
自動(dòng)聚焦，自動(dòng)像散校正
自動(dòng)亮度和對(duì)比度調(diào)節(jié)
自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)節(jié)
數(shù)字圖像儲(chǔ)存 640 x 480像素，1280 x 960像素
圖像格式 BMP
圖像數(shù)據(jù)條顯示
加速電壓，放大倍數(shù)，
微米標(biāo)尺,WD(工作距離),照片放大倍數(shù)
真空度水平,檢測(cè)器,日期,文件號(hào)等
真空系統(tǒng)
全自動(dòng)，DP 570L/Sec，
RP 160L/min x 2 (S-3000N)
RP 160L/min x 1 (S-3000H)
系統(tǒng)保護(hù) 斷電、失真空和缺水保護(hù)

主要特點(diǎn)

S-3000N和S-3000H的標(biāo)準(zhǔn)功能
1. Windows NT界面。
2. *的雙偏臺(tái)功能，即使在低電壓也有不錯(cuò)的性能。
3. 和普通PC類似的用戶友好操作環(huán)境。
4. 交互式顯示器顯示和鼠標(biāo)操作。
5. 旋鈕和鼠標(biāo)控制都可以用于SEM參數(shù)設(shè)置。