（2手）掃描電鏡SEM+EDX分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀測(cè)到元素分析的整個(gè)過(guò)程。

（2手）掃描電鏡SEM+EDX操作窗口

直觀的操作界面的設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)明易懂便于迅速掌握操作。

日本JEOL掃描電子顯微鏡JSM-6510（SEM)支持多用戶

單個(gè)用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo)，營(yíng)造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時(shí)，即可加載已注冊(cè)過(guò)的設(shè)定。

日本JEOL掃描電子顯微鏡JSM-6510（SEM)同時(shí)顯示兩幅圖像

畫(huà)面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像?？赏瑫r(shí)觀察樣品的形貌和組成分布。

日本JEOL掃描電子顯微鏡JSM-6510（SEM)維護(hù)簡(jiǎn)便

工廠預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說(shuō)明。

日本JEOL掃描電子顯微鏡JSM-6510（SEM)可信賴的真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無(wú)活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)便的特色。

（2手）掃描電鏡SEM+EDX:技術(shù)參數(shù)

分辨率 3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）
放大倍數(shù) 5至300,000x
加速電壓 0.5kV至30kV
電子槍 工廠預(yù)對(duì)中燈絲
聚光鏡 變焦聚光鏡
物鏡 錐形物鏡
樣品臺(tái) 全對(duì)中樣品臺(tái)
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋轉(zhuǎn) 360°
傾斜 －10°至＋90°
排氣系統(tǒng)
（高真空模式） DPx1，RPx1
排氣系統(tǒng)
（低真空模式） DPx1，RPx2

掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)

　　1.強(qiáng)大的電子光學(xué)系統(tǒng)，簡(jiǎn)單操作

　　I　設(shè)計(jì)的超級(jí)圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。

　　II　廣域掃描線圈可以得到低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。

　　III　電子光學(xué)系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。

　　2.高分辨率

　　I　JSM6510系列超級(jí)圓錐形物鏡，在工作距離8mm時(shí)的分辨率為3nm，超級(jí)圓錐形物鏡

　　2的外形設(shè)計(jì)可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。

　　3.全自動(dòng)電子槍

　　2　I　JEOL開(kāi)發(fā)的全自動(dòng)電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進(jìn)行觀察或成分分析。

　　II　電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無(wú)縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變化隨時(shí)調(diào)整偏壓，使得無(wú)論選擇哪個(gè)加速電壓，都能得到亮度。

　　III　JEOL*的像散記憶功能能夠自動(dòng)糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。

　　

　　1KV　5KV

　　

　　10KV　20KV

　　4.多圖顯示模式

　　3　I　主顯示區(qū)可以同時(shí)顯示兩幅實(shí)時(shí)圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區(qū)也可顯示2幅實(shí)時(shí)圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或CCD相機(jī)圖像。

　　II　雙實(shí)時(shí)顯示模式可以用于不同信號(hào)圖像的對(duì)比，用戶可在觀察表面形貌的同時(shí)了解樣品的成份分布情況。

　　III　選用多種圖像顯示模式時(shí)，點(diǎn)擊“PHOTO"按紐可同時(shí)獲得并存儲(chǔ)2或3幅全屏尺度圖像。

　　5.簡(jiǎn)單易懂的操作接口及菜單

　　I　操作接口簡(jiǎn)單，直觀，默認(rèn)的操作接口顯示了常用的功能按鈕，并以簡(jiǎn)單圖文標(biāo)明，點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作所有功能。

　　II　實(shí)時(shí)量測(cè)，圖片上的長(zhǎng)度和角度等結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)能在顯示器上進(jìn)行測(cè)量。

　　6.可變焦聚光鏡修正

　　I　做表面觀察和元素分析等不同應(yīng)用時(shí)，選擇合適束流非常重要，一般是通過(guò)聚光鏡與物鏡光闌來(lái)控制電子束流的。如果在調(diào)整束流過(guò)程中，焦點(diǎn)和觀察區(qū)域位移變化很小，調(diào)整起來(lái)會(huì)比較方便。JEOL*的可變焦聚光鏡可以保證這一點(diǎn)。