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JKMDS-600型冷熱臺(tái)

冷熱臺(tái)作為一種能夠精確控制樣品溫度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備，為半導(dǎo)體材料研究提供了有力支持。通過(guò)冷熱臺(tái)，科研人員可以在不同的溫度條件下對(duì)材料進(jìn)行性能測(cè)試，了解材料的熱穩(wěn)定性、導(dǎo)電性、光學(xué)性能等關(guān)鍵參數(shù)。此外，冷熱臺(tái)還能模擬材料在溫度環(huán)境下的表現(xiàn)，為材料的應(yīng)用提供重要的參考數(shù)據(jù)。

JKMDS-600型冷熱臺(tái)是使用較為廣泛的THMS600型高精度冷熱臺(tái)的加強(qiáng)型。其寬泛的溫度范圍（-196°C到600°C）和升溫速率（0.1到150°C/min），以及高精度（全程0.1°C）和高穩(wěn)定（<0.1°C），使其在各行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用。

其中的關(guān)鍵組件熱臺(tái)由銀質(zhì)加熱塊、測(cè)溫元件以及密閉腔室組成。樣品放置在0.17mm厚的蓋玻片上，蓋玻片放置在高度拋光的銀質(zhì)加熱元件上。銀質(zhì)加熱元件保證了熱傳遞和溫度測(cè)量。精度高于0.1°C的鉑電阻傳感器提供了非常精確和穩(wěn)定的溫度信號(hào)。樣品腔室是氣密的，氣體閥可以控制腔室內(nèi)的環(huán)境，即惰性氣體或濕度。

可以自動(dòng)儲(chǔ)存150對(duì)XY軸坐標(biāo)，全電動(dòng)式移動(dòng)。

參數(shù)：

溫度范圍-196°C 到600 °C (-196℃需選擇專用冷卻系統(tǒng))

可控加熱速率0.1到150°C/min

通過(guò)LinkSys軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)控制

馬達(dá)位置分辨率0.05µm

位置重復(fù)性<3um

150 X,Y 坐標(biāo)可以存儲(chǔ)

最大15mm X,Y 移動(dòng)

手動(dòng)或計(jì)算機(jī)操作

可定義計(jì)算機(jī)掃描區(qū)域

7, 10 或16mm樣品夾持器可用

全部速度范圍內(nèi)消除樣品抖動(dòng)

與圖像系統(tǒng)聯(lián)用，記錄樣品測(cè)定全過(guò)程

通風(fēng)的底部窗口消除冷凝現(xiàn)象

新設(shè)計(jì)的上蓋可以允許快速更換鏡頭

使用熱臺(tái)支架直接安裝熱臺(tái)

物鏡工作距離.1mm 到4.9mm

聚光鏡最小工作距離12.7mm