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工業(yè)運(yùn)用場合的不斷擴(kuò)大，某些生產(chǎn)廠家研制出了專門使用于工業(yè)場合的工業(yè)伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了*款專為工業(yè)場合使用的73系列伺服閥產(chǎn)品。隨后，越來越多的專為工業(yè)用途研制的伺服閥出現(xiàn)了。它們具有如下的特征：較大的體積以方便制造；閥體采用鋁材（需要時(shí)亦可采用鋼材）；獨(dú)立的*級以方便調(diào)整及維修；主要使用在14MPa以下的低壓場合；盡量形成系列化、標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。然而Moog公司在德國的分公司卻將其伺服閥的應(yīng)用場合主要集中在高壓場合，一般工作壓力在21MPa，有的甚至到35MPa，這就使閥的設(shè)計(jì)專重于高壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業(yè)場合的廣泛運(yùn)用，各公司均推出了各自的適合工業(yè)場合用的比例閥。其特點(diǎn)為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過*控制技術(shù)和*電子裝置以彌補(bǔ)其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。1973年，Moog公司按工業(yè)使用的需要，把某些伺服閥轉(zhuǎn)換成工業(yè)場合的比例閥標(biāo)準(zhǔn)接口。Bosch研制出了其標(biāo)志性的射流管先導(dǎo)級及電反饋的平板型伺服閥

PARKER變量泵主要用在電氣液壓伺服系統(tǒng)中作為執(zhí)行元件（見液壓伺服系統(tǒng)）。在伺服系統(tǒng)中，液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)同電氣及氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動平穩(wěn)、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。另一方面，在伺服系統(tǒng)中傳遞信號和校正特性時(shí)多用電氣元件。因此，現(xiàn)代高性能的伺服系統(tǒng)也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統(tǒng)的必需元件。美國PARKER派克PVS系列變量葉片泵結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，造價(jià)高，對油的質(zhì)量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點(diǎn)，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結(jié)構(gòu)大為簡化。另一個(gè)方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數(shù)。利用這一性質(zhì)就可通過電信號直接控制油流。

美國進(jìn)口PARKER派克PVS系列變量葉片泵按結(jié)構(gòu)分為滑閥式、噴嘴擋板式、射流管式、射流板式和平板式等；按輸入信號可分為機(jī)液伺服閥、電液伺服閥和氣液伺服閥。機(jī)液伺服閥是將小功率的機(jī)械動作轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽浚髁炕驂毫Γ┑臋C(jī)液轉(zhuǎn)換元件。機(jī)液伺服閥大都是滑閥式結(jié)構(gòu)，在船舶的舵機(jī)、機(jī)床的仿形裝置、飛機(jī)的助力器上應(yīng)用*。電液伺服閥是將電量轉(zhuǎn)變成液壓輸出量的電液轉(zhuǎn)換元件，出現(xiàn)於1940年。到50年代，這種元件的結(jié)構(gòu)趨於成熟。隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，電液伺服系統(tǒng)的性能得到顯著改善，大大優(yōu)於其他的液壓伺服系統(tǒng)，因而得到廣泛應(yīng)用。電液伺服閥的內(nèi)部結(jié)構(gòu)可分滑閥位置反饋、載荷壓力反饋和載荷流量反饋；閥的級數(shù)可分單級、雙級和多級。在電液伺服閥中，將電信號轉(zhuǎn)變?yōu)樾D(zhuǎn)或直線運(yùn)動的部件稱為力矩馬達(dá)或力馬達(dá)。力矩馬達(dá)浸泡在油液中的稱為濕式，不浸泡在油液中的稱為乾式。其中以滑閥位置反饋、兩級乾式電液伺服閥應(yīng)用zui廣。

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