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Sekidenko OR4000E半導體薄膜高溫計
  • Sekidenko OR4000E半導體薄膜高溫計
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-04-25 21:00:08

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Advanced Energy®的 OR4000E多通道光纖測溫儀(OFT)能夠自動探測測量材料發(fā)射率,可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各種半導體工藝過程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能,并且兼具實時輻射率補償?shù)膬?yōu)點。其采用塊化設計,可快速量身定制,滿足不同的的工藝應用要求。

主要特性

優(yōu)點:


  • 提高可重復性并顯著減小誤差

  • 提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

  • 提高多個腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


特點:

  • ·主動輻射率檢測和補償

  • 溫度和輻射率讀取速率快

  • ·模塊化的結(jié)構具有高靈活性

  • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


技術參數(shù):

概述:實時,雙通道,在測量過程中能實時測量材料發(fā)射系數(shù)并糾正,補償測量溫度,測量速度高達2kHz
通道配置:1-2通道,透過脈沖發(fā)射器實時糾正發(fā)射系數(shù),每個通道可單獨配置
測溫范圍:50-3500°C
實時發(fā)射系數(shù)范圍:0.03 至 1.0
測量波長:UV to 2300 nm
讀取速率:高達2kHz,在實時發(fā)射系數(shù)自糾正溫度測量模式下可達500Hz
測量精度:±1.5℃
重復精度:±0.1℃℃,正常情況下
分辨率:0.001°C
顯示:內(nèi)置,4x20LCD屏,帶鍵盤輸入
數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/485,and Etherne
模擬輸出:t0-10V或4-20mA
控制接口:外部觸發(fā)輸入,同步輸出,高低報警
電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數(shù):5-40℃,非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D)
重量:2.0kg
安裝:底部M3 X0.75螺孔
采樣響應時間:2kHz采樣速率時<2ms




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