靜電式末級透鏡（Apreo C 和 Apreo S）能夠?qū)崿F(xiàn)鏡筒內(nèi)多種信號的同時(shí)探測和高分辨率，而 Apreo S 則結(jié)合靜電、浸沒式磁場的復(fù)合透鏡以進(jìn)一步提高低電壓下的分辨率，在 1 kV加速電壓下的分辨率為 1.0 nm，不需要電子束減速。通過將浸沒式磁透鏡和靜電透鏡組合還可以實(shí)現(xiàn)*的信號過濾功能。擁有透鏡內(nèi)背散射探測器 T1，其位置緊靠樣品，確保在較短的時(shí)間內(nèi)獲得大量的采集信號。與其他背散射探測器不同，這種快速的探測器在導(dǎo)航時(shí)、傾斜時(shí)或工作距離很短時(shí)能夠始終保持良好的材料襯度。在表征敏感樣品時(shí)，探測器的*性能尤為突出，即使電流低至幾 pA，它也能提供清晰的背散射圖像。Apreo S復(fù)合末級透鏡通過能量過濾實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的材料襯度以及絕緣樣品的無電荷成像，進(jìn)一步提高了 T1 BSE 探測器的使用價(jià)值。Apreo 還提供了受歡迎的選配探頭來補(bǔ)充其探測能力，例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器(GAD)。所有這些探測器都擁有的軟件控制分割功能，以便根據(jù)需求選擇價(jià)值的樣品信息。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 全面實(shí)現(xiàn)納米或亞納米分辨性能，從納米顆粒，粉末，催化劑和納米器件到塊狀磁性樣品等材料。

• 的背散射電子探測始終可保證良好的材料襯度，即使是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對電子束敏感樣品進(jìn)行 TV速率成像是也不例外。

• 無比靈活的探測器 可將各個探測器分割提供的信息相結(jié)合，讓用戶能夠獲得至關(guān)重要的對比或信號強(qiáng)度。

• 各種各樣的荷電緩解策略 ，包括樣品倉壓力為 500 Pa的低真空模式，可實(shí)現(xiàn)任何樣品的成像。

• 分析平臺提供高電子束電流，而且束斑很小。倉室支持三個EDS 探測器、共面的 EDS 和 EBSD 以及針對分析而優(yōu)化的低真空系統(tǒng)。

• 樣品處理和導(dǎo)航極容易，具有多用途樣品支架和Nav-Cam+。

• 通過高級用戶指導(dǎo)、預(yù)設(shè)和撤消功能為新用戶提供專家級結(jié)果。

參數(shù)

電子束

• 電子束電流范圍: 1 pA–400 nA

• 加速電壓: 200 V–30 kV

• 著陸能量范圍: 20 eV–30 keV

• 大水平視場寬:10 mm工作距離下為3.0 mm（對應(yīng)于小放大倍率 x29）

• 10mm分析工作距離 1kV 時(shí)電子束分辨率: 1nm

倉室

• 內(nèi)寬: 340 mm

• 分析工作距離: 10 mm

• 12個端口

• EDS 出射角度為35°

• 可同時(shí)安裝三個EDS 探測器, 兩個處于180°

• 共面的 EDS/EBSD 與樣品臺的傾斜軸垂直。

探測器

Apreo 通過可用探測器或探測器的分割部分的任意組合，多可同時(shí)探 測四個信號：

• Trinity 探測系統(tǒng) (透鏡內(nèi)和鏡筒內(nèi))

 – T1 分割式透鏡內(nèi)低位探測器

 – T2 透鏡內(nèi)高位探測器

 – T3 鏡筒內(nèi)探測器*

• ETD – Everhart-Thornley SE 探測器

• DBS – 可伸縮分割式透鏡下 BSED*

• 低真空 SE 探測器*

• DBS-GAD – 安裝在透鏡上的氣體分析 BSED

• STEM 3+ – 可伸縮分割式探測器（BF、DF、HADF、HAADF)*

• IR-CCD

• Nav-Cam+ ™ –安裝在倉室內(nèi)的樣品導(dǎo)航攝像頭

真空系統(tǒng)

• *無油的真空系統(tǒng)

• 1 × 220 l/s TMP

• 1 × PVP-渦旋泵

• 2 × IGP

• 倉室真空（高真空）< 6.3 × 10-6 mbar（72 小時(shí)抽氣后）

• 抽氣時(shí)間：≤ 3.5 分鐘

• 可選的低真空模式

• 倉室壓力為 10 到 500 Pa