噴膠機(jī)

適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

控溫范圍：50-150℃
溫度均勻性:±1%
3光刻膠流量:0.4-20ml/min
加熱平臺轉(zhuǎn)速:1-30rpm
噴嘴水平移動速度:≤200mm/s
噴嘴水平行程:≤300mm
光刻膠霧化直徑:30-50μm
設(shè)備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)