1、供電系統(tǒng)應(yīng)確保潔凈廠房內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備、公用動力設(shè)施的安全、可靠的運(yùn)轉(zhuǎn)，應(yīng)防止因停電故障，造成生產(chǎn)中斷，使生產(chǎn)線上的產(chǎn)品、中間產(chǎn)品變成廢品、次品、廢料，嚴(yán)重時(shí)生產(chǎn)設(shè)備損壞或打亂生產(chǎn)程序，使恢復(fù)生產(chǎn)困難;由于停電使?jié)崈羰覂?nèi)的潔凈環(huán)境受到破壞，需要一定的時(shí)間才能恢復(fù)。為此應(yīng)根據(jù)潔凈室的產(chǎn)品生產(chǎn)特點(diǎn)和生產(chǎn)工藝的要求，準(zhǔn)確的確定供電系統(tǒng)，選用必要的備用電源設(shè)備、穩(wěn)壓穩(wěn)頻設(shè)備、自動調(diào)壓設(shè)備、不停電設(shè)備（UPS）等。合理確定配電系統(tǒng)及線路，盡可能簡化系統(tǒng)，采用質(zhì)量優(yōu)良、性能可能的變配電設(shè)備。
2、潔凈室應(yīng)采用質(zhì)量優(yōu)良、安全可靠的電氣設(shè)備。潔凈室一般相對封閉，平面布置曲折，在建筑中使用了各種類型的裝飾材料。一些電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程要使用各種類型的可燃或有毒氣體，有機(jī)溶劑，這些均將使?jié)崈羰掖嬖谥鴿撛诘目赡転?zāi)害，所以潔凈室內(nèi)的電氣設(shè)備不僅應(yīng)具有質(zhì)量優(yōu)良、安全可靠的特性，而且還應(yīng)設(shè)置必要的、完善的保護(hù)安全措施，如：可燃或有毒氣體探測和可靠的排風(fēng)設(shè)備電氣連鎖;火災(zāi)報(bào)警探測器等。
3、采用節(jié)能型電氣設(shè)備。電子工廠潔凈廠房一般是連續(xù)24h運(yùn)轉(zhuǎn)的電能消耗大戶，以超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用潔凈廠房的單位面積平均用電量為1.0—1.5Kw/㎡，而一般寫字樓僅為0.1 Kw/㎡左右，所以選用節(jié)能型電氣設(shè)備十分重要。這包括變配電設(shè)備、電動機(jī)的啟動方式、以及光源的選擇等。
4、注意電氣設(shè)備及線路的適應(yīng)性，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代十分迅速，所以電子工廠的潔凈廠房常常需要進(jìn)行生產(chǎn)流程、設(shè)備的調(diào)整、改造，潔凈度等級的提升等，因此潔凈廠房的電氣設(shè)備、線路均應(yīng)留有一定的富裕量、靈活性，以適應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)調(diào)整、改造的要求。
5、重視采用方便管理、節(jié)約人力的電氣設(shè)備的應(yīng)用，特別是重視生產(chǎn)過程的加工自動化、公用動力系統(tǒng)的自動化、物料傳輸?shù)淖詣踊?、辦公自動化、各類管理數(shù)據(jù)收集和分析的自動化、各類防災(zāi)設(shè)施的自動化等。