電子產(chǎn)品生產(chǎn)與潔凈技術(shù)
國內(nèi)外的潔凈技術(shù)的發(fā)展都是隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展、工業(yè)產(chǎn)品的日新月異，特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展。現(xiàn)代工業(yè)新產(chǎn)品和現(xiàn)代科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。產(chǎn)品的微型化等的生產(chǎn)，要求有一個(gè)“潔凈的生產(chǎn)環(huán)境”，潔凈技術(shù)便是按照產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)“潔凈生產(chǎn)環(huán)境”中的污染物的控制要求、控制方法以及控制設(shè)施的日益嚴(yán)格而不斷發(fā)展。潔凈生產(chǎn)環(huán)境—潔凈室（潔凈廠房）的稱謂、名稱或定義，先后使用過“無法室”、“無窗廠房”、“密閉廠房”、“空氣懸浮粒子受控的房間”……等，潔凈室因定義為將空氣中的微粒、有害氣體、微生物受控的房間，以滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要;潔凈室的建造和使用應(yīng)不引入或少引入微粒等，應(yīng)不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒等應(yīng)不滯留微粒等;應(yīng)對(duì)潔凈室內(nèi)的溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行控制;根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)要求還需對(duì)潔凈室內(nèi)的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動(dòng)、靜電等進(jìn)行控制。
根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特點(diǎn)，以半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)用潔凈室除應(yīng)安裝產(chǎn)品生產(chǎn)用設(shè)備外，一般應(yīng)具有下列功能設(shè)施：
凈化空調(diào)系統(tǒng)、凈化設(shè)備
潔凈建筑及裝飾
噪聲控制、防微振
防靜電、防電磁干擾
電氣、照明
高純物質(zhì)—高純水、高純氣、高純化學(xué)品供應(yīng)
安全、報(bào)警系統(tǒng)
通信設(shè)施等
潔凈室設(shè)計(jì)是一門綜合技術(shù)，設(shè)計(jì)過程的關(guān)鍵專業(yè)技術(shù)是生產(chǎn)工藝技術(shù)及其工藝設(shè)計(jì)；空氣凈化專業(yè)設(shè)計(jì)；潔凈建筑設(shè)計(jì)以及各類產(chǎn)品生產(chǎn)所需的專業(yè)技術(shù)，如微電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需的高純物質(zhì)—高純水、高純氣的專業(yè)技術(shù)等。這些專業(yè)技術(shù)在潔凈室設(shè)計(jì)中都是*的，它們之間必須密切配合，圍繞著滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要，相互協(xié)調(diào)、統(tǒng)籌安排，在做好各相關(guān)專業(yè)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上，處理好電源、冷源、熱源等動(dòng)力供應(yīng)，節(jié)約能源；設(shè)有各項(xiàng)安全設(shè)施—消防、防火、防爆、安全報(bào)警確保潔凈室的安全運(yùn)行；安排好各類配管配線，確保各種流體介質(zhì)的輸送質(zhì)量，減少材料消耗，方便施工安裝和運(yùn)行維護(hù)。