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美國(guó)bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術(shù)規(guī)格
閱讀：656 發(fā)布時(shí)間：2024-5-7美國(guó)bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷美國(guó)bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷為了大限度地提高工藝的重復(fù)性和一致性,現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)、調(diào)節(jié)和監(jiān)控是確保射頻電源準(zhǔn)確、可重復(fù)地向腔室輸送射頻電源的關(guān)鍵組成部分。當(dāng)使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時(shí),VSWR目前提供超穩(wěn)定、低VSWR負(fù)載,用于快速和精確地測(cè)量發(fā)電機(jī)輸出功率。8921SC13不僅提供低VSWR,而且在過(guò)程臨界頻率下,VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準(zhǔn)時(shí)間不同,沒(méi)有必要進(jìn)行負(fù)載熱身或重復(fù)性風(fēng)險(xiǎn)。這可以最小化與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯(cuò)誤,并控制更關(guān)鍵的過(guò)程變量之一。
美國(guó)bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術(shù)規(guī)格如下：
項(xiàng)目編號(hào)
8921SC13
項(xiàng)目名稱
5千瓦,超穩(wěn)定,油電射頻終止載荷
功率等級(jí)
5千瓦
頻率范圍及VSWR
直流至28兆赫@最大1.1兆赫。
不足1.05:1
阻擋物
50 (nominal)
Vswr穩(wěn)定性
0-100%的穩(wěn)定頻率功率
穩(wěn)定頻率
13.56兆赫+10千赫
連接器
"QC" Type LC (Female) - normally supplied
互鎖熱開關(guān)-可選
一般都是封閉的。在236℃(457華氏度)開放
熱開關(guān)等級(jí)
115伏,10a
230真空,5a
溫度范圍
操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F)
儲(chǔ)存: – 40 to +45 °C (– 40 to +113 °F)
高度
1520 m (5000 ft.)
潮濕
95%不凝結(jié)最大值。
冷卻法
石油介質(zhì)和對(duì)流電流
尺寸
32.8" x 9.5" x 26.9"
832x241x681毫米
重量
126 lbs.
57千克
結(jié)束
環(huán)氧樹脂
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