關(guān)鍵詞：氣體質(zhì)量流量控制器     流量控制系統(tǒng)     高精度流量控制     數(shù)顯氣體質(zhì)量流量計

產(chǎn)品用途：  數(shù)顯質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

配合真空氣氛管式爐一起使用，供企業(yè)實驗室、大專院校、科研院所等單位選用。

儀器特點：  數(shù)顯質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

1.方便的氣路快速連接接口，簡化了流量控制系統(tǒng)與其它設(shè)備的連接。

2.采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復性好，相應速度快，穩(wěn)定可靠等特點。

3.安全性：

采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。

采用混氣罐裝置，使氣體可以在混合后導入工作室內(nèi)，確保不會泄露。

技術(shù)參數(shù)：

1.氣路數(shù)量：三路

2.流量控制方式：自動控制

3.連接方式：雙卡套接頭

4.流量計：質(zhì)量流量計

5.流量范圍：0-500sccm（標準毫升/分）氮氣標定

6.精度：±1%F.S

7.響應時間：≤4s

8.工作溫度：5-45℃

9.工作壓力：進氣壓力0.05-0.3Mpa（表壓力）

10.外形尺寸：770*580*778

11.外包裝尺寸：930*740*863

12.重量：57kg

13.標準配件：PUφ6管/每路2米φ4x15mm不銹鋼襯管5個