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類(lèi)型 8626

氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)

• 標(biāo)稱(chēng)流量范圍從 20 lN/min 至zui高 1500 lN/min
• 測(cè)量精度和重復(fù)性高
• 調(diào)控速度快
• 防護(hù)等級(jí) IP65
• 選配：現(xiàn)場(chǎng)總線接口

  

  類(lèi)型 8710

  氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)

• 標(biāo)稱(chēng)流量范圍從 0.005 lN/min 至 15 lN/min
• 測(cè)量精度和重復(fù)性高
• 適用于腐蝕性氣體
• 選配：現(xiàn)場(chǎng)總線接口

  

  類(lèi)型 8711

  氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)

• 標(biāo)稱(chēng)流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 測(cè)量精度和重復(fù)性高
• 調(diào)控速度特別快
• 選配：現(xiàn)場(chǎng)總線接口

  

  類(lèi)型 8712

  氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)

• 標(biāo)稱(chēng)流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 測(cè)量精度和重復(fù)性高
• 調(diào)控速度特別快
• 防護(hù)等級(jí) IP65
• 選配：現(xiàn)場(chǎng)總線接口

  

  類(lèi)型 8713

  氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)

• 標(biāo)稱(chēng)流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 測(cè)量精度和重復(fù)性高
• 調(diào)控速度特別快
• 通過(guò) RS485 進(jìn)行數(shù)字通信
• 緊湊型版本

  

  類(lèi)型 8715

  氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器 (Mass Flow Controller)

• 采用毛細(xì)管技術(shù)的旁通儀器，適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
• 適合侵蝕性氣體
• 緊湊型版本和數(shù)字通訊

  

  類(lèi)型 8741

  適用于氣體的質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器 (MFC)/質(zhì)量流量計(jì) (MFM)

   篩選器

• 采用 MEMS 技術(shù)直接測(cè)量流量
• 測(cè)量和重復(fù)精度高
• 反應(yīng)時(shí)間非常之短
• 現(xiàn)場(chǎng)總線通信基于 CANopen