美國MOG穆格出現(xiàn)於1940年。到50年代，這種元件的結構趨於成熟。隨著電子技術和計算機技術的發(fā)展，電液伺服系統(tǒng)的性能得到顯著改善，大大優(yōu)於其他的液壓伺服系統(tǒng)，因而得到廣泛應用。電液伺服閥的內(nèi)部結構可分滑閥位置反饋、載荷壓力反饋和載荷流量反饋；閥的級數(shù)可分單級、雙級和多級。在電液伺服閥中，將電信號轉(zhuǎn)變?yōu)樾D(zhuǎn)或直線運動的部件稱為力矩馬達或力馬達。力矩馬達浸泡在油液中的稱為濕式，不浸泡在油液中的稱為乾式。其中以滑閥位置反饋、兩級乾式電液伺服閥應用zui廣。電液伺服閥的工作原理是力矩馬達在線圈中通入電流后產(chǎn)生扭矩，使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動，移動的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時，就在主閥芯兩端面上產(chǎn)生壓力差推動主閥芯左移，使壓力油口P S與載荷1口相通，回油口與載荷 2口相通。主閥芯左移的同時通過反饋桿對力矩馬達產(chǎn)生的力矩和擋板的位移進行負反饋。因此，主閥芯的位移量就能精確地隨著電流的大小和方向而變化，從而控制通向液壓執(zhí)行元件的流量和壓力。
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