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半導(dǎo)體紅外氣體分析器的原理結(jié)構(gòu)和性能特點(diǎn)
半導(dǎo)體紅外氣體分析器是一種結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單的氣體分析器,也是一種經(jīng)濟(jì)型的紅外分析儀器。
脈沖紅外光源發(fā)射特定頻率的輻射光,輻射光通過(guò)氣室被檢測(cè)器接收。該儀器所采用的檢測(cè)器是熱釋電檢測(cè)器,具有兩個(gè)檢測(cè)通道:分析檢測(cè)通道和參比檢測(cè)通道。當(dāng)氣室通入N2時(shí),紅外光在氣室內(nèi)不被吸收,分析檢測(cè)通道輸出信號(hào)大。當(dāng)氣室通以待測(cè)組分時(shí),紅外光線在氣室內(nèi)被吸收,分析檢測(cè)通道輸出信號(hào)減小。分析檢測(cè)通道輸出信號(hào)由于氣室中待測(cè)組分的吸收而發(fā)生變化,產(chǎn)生一個(gè)與待測(cè)組分濃度成比例的輸出信號(hào)。參比檢測(cè)通道的輸出信號(hào)不受被測(cè)氣體及其濃度影響,用于反映光源光強(qiáng)的變化,以補(bǔ)償分析檢測(cè)通道的輸出信號(hào)。光源可以采用電調(diào)制脈沖光源,也可以采用傳統(tǒng)的電機(jī)切光廣譜光源。
半導(dǎo)體紅外檢測(cè)器有:光電檢測(cè)器、熱電堆檢測(cè)器和熱釋電檢測(cè)器等三大類。光電檢測(cè)器具有很高的響應(yīng)率和探測(cè)率,但對(duì)紅外光線具有選擇性吸收的特性。一種光電檢測(cè)器只能檢測(cè)位于可檢測(cè)波長(zhǎng)范圍的紅外線,例如銻化銦檢測(cè)器的檢測(cè)波長(zhǎng)范圍為2-7um,因此能檢測(cè)CO和CO2,但不能檢測(cè)NH3和SO2。熱電堆對(duì)溫度非常敏感,溫度影響系數(shù)較大,不適合作為精密儀器的檢測(cè)器。熱釋電檢測(cè)器具有波長(zhǎng)響應(yīng)范圍廣、檢測(cè)精度高、反應(yīng)快的特點(diǎn),溫度影響系數(shù)比熱電堆要小,因此適合用于高精度測(cè)量的氣體分析儀器。
性能特點(diǎn)
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低廉,生產(chǎn)和維修方便。
適合常量氣體分析。
只通過(guò)干涉濾光片區(qū)分氣體,選擇性不好,容易受背景氣體中干擾組分的影響。但加濾波氣室后可以增強(qiáng)抗干擾能力。
增加檢測(cè)器的通道數(shù)目就可實(shí)現(xiàn)多組分測(cè)量。
半導(dǎo)體檢測(cè)器受溫度影響很大。檢測(cè)器必須恒溫控制或軟件溫度補(bǔ)償。
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