200L自動供液系統(tǒng)是一種用于工業(yè)領(lǐng)域（如半導(dǎo)體、化工、新能源等）的大容量化學(xué)液體自動配送設(shè)備，以下是其詳細(xì)介紹：

1. 核心功能與原理

• 自動供液：通過泵送、壓力控制或重力回流實現(xiàn)200L儲液容器的持續(xù)供液，支持雙桶交替設(shè)計（一用一備），避免供液中斷。

• 精準(zhǔn)控制：配備流量計、壓力傳感器和PLC控制系統(tǒng)，實時監(jiān)測供液壓力、流量和液位，確保輸送精度（如±1%誤差內(nèi)）。

• 安全防護(hù)：采用防爆電機(jī)、耐腐蝕材質(zhì)（如PFA/PTFE管路）、泄漏檢測傳感器及緊急停機(jī)功能，防止化學(xué)泄漏或設(shè)備故障。

2. 技術(shù)特點

• 雙桶切換：兩桶自動輪換供液，支持在線更換空桶，減少停機(jī)時間。

• 防氣泡設(shè)計：集成脫氣模塊或脈動阻尼器，避免氣泡進(jìn)入工藝端（如蝕刻機(jī)、噴涂設(shè)備）。

• 溫度/壓力補償：根據(jù)環(huán)境溫度或管路壓力變化自動調(diào)節(jié)泵速或閥門開度，維持穩(wěn)定供液。

• 數(shù)據(jù)追溯：記錄供液量、壓力曲線、報警信息等數(shù)據(jù)，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與故障診斷。

3. 應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體制造：用于光刻膠、蝕刻液、清洗液的精準(zhǔn)配送（如CDS系統(tǒng)）。

• 光伏/鋰電池：輸送濕法制漿化學(xué)品（如鈣鈦礦前驅(qū)液、電解液）。

• 化工生產(chǎn)：大宗液體原料（如酸堿溶液、溶劑）的自動化批量供液。

4. 關(guān)鍵組件

• 儲液單元：200L雙層桶體（不銹鋼或高分子材料），帶液位傳感器和氮氣保護(hù)接口。

• 輸送模塊：耐腐蝕隔膜泵（如PTFE材質(zhì)）、質(zhì)量流量計、高精度調(diào)節(jié)閥。

• 控制系統(tǒng)：PLC+觸摸屏（支持手動/自動模式），可對接MES或SCADA系統(tǒng)。

• 安全模塊：泄漏偵測裝置、靜電消除器、緊急排空閥。

5. 優(yōu)勢與價值

• 提升效率：減少人工干預(yù)，降低操作失誤風(fēng)險，支持24小時連續(xù)運行。

• 降低成本：優(yōu)化化學(xué)液利用率，減少浪費；雙桶設(shè)計延長維護(hù)周期。

• 合規(guī)性：符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)，適應(yīng)潔凈室或危險區(qū)域（如防爆Ex d IIC T4）。

• 定制化：可根據(jù)液體性質(zhì)（粘度、腐蝕性）和工藝需求定制管路材質(zhì)、泵型及控制邏輯。