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TG450F Osaka大阪真空高性能全新復(fù)合渦輪分子泵

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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會(huì)社全資設(shè)立的中國(guó)子公司,專(zhuān)業(yè)從事國(guó)內(nèi)貿(mào)易/國(guó)際貿(mào)易業(yè)務(wù),主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化多類(lèi)上萬(wàn)種產(chǎn)品的銷(xiāo)售。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力,可控的交期和匹配的物流體系,科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)漠a(chǎn)品質(zhì)量,專(zhuān)業(yè)的線下服務(wù)能力,為客戶(hù)提供極有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格以及各方位的技術(shù)支持











真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 產(chǎn)品類(lèi)型 有油泵
價(jià)格區(qū)間 1萬(wàn)-2萬(wàn) 儀器種類(lèi) 分子泵
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池

Osaka大阪真空高性能全新復(fù)合渦輪分子泵

Osaka大阪真空高性能全新復(fù)合渦輪分子泵


  • 輕巧設(shè)計(jì)

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動(dòng)

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強(qiáng)
    經(jīng)400次大氣沖擊驗(yàn)證

  • 多種通信模式

  • 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半導(dǎo)體制造

  • 電子槍排氣,離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理,表面改質(zhì)

  • 各種電子部件的制造

  • 分析,試驗(yàn)裝置

  • 管球制造,光學(xué)部件制造

  • 加速器,放射線設(shè)施,核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開(kāi)發(fā)

※排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列。

吸氣口法蘭VG150
CF160
ISO-R160
排氣速度N2(L/s)450
N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)430
H2(L/s)240
最大壓縮比N21×108
H22×103
極限壓力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
最大氣體流量※1N2 (sccm)500
啟動(dòng)時(shí)間(min) 2-2.5
停止時(shí)間(min)5-6.5
允許輔助壓力(Pa/Torr)260/2
推薦輔助泵(L/min)≧80
安裝角度自在
重量VG?ISO-B/CF(kg)7/10





















※1:輔助泵的容量是160L/min情況下的最大容許流量

[ 使用環(huán)境溫度 ]

極限壓力保證環(huán)境溫度是10~23℃。另外,容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10~32℃,水冷情況下是10~40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10~35℃。

[ 對(duì)應(yīng)氣體種類(lèi) ]

由于排氣的氣體種類(lèi)不同,可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)請(qǐng)咨詢(xún)銷(xiāo)售人員。




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