白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo
- 公司名稱(chēng) 上海昊量光電設(shè)備有限公司
- 品牌 昊量光電
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/12 11:14:32
- 訪問(wèn)次數(shù) 48
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激光器調(diào)制器,激光測(cè)量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測(cè)器光子計(jì)數(shù)器,專(zhuān)用實(shí)驗(yàn)設(shè)備,相機(jī)
供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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WLI白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo
三豐Mitutoyo新推出具有更高干涉信號(hào)對(duì)比度,可以同時(shí)測(cè)高反射率部分和低反射率部分樣品的白光干涉顯微鏡及物鏡。
白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo特點(diǎn):
● 實(shí)現(xiàn)非接觸式3D表面形狀測(cè)量和輪廓測(cè)量
可利用白光干涉原理實(shí)現(xiàn)非接觸式高精度細(xì)微表面性狀測(cè)量
(例如:3D形狀測(cè)量、3D粗糙度測(cè)量)
● 不依賴(lài)于光學(xué)倍率的高度測(cè)量精度
即使是低倍率鏡頭,也可使用Z向高分辨力進(jìn)行測(cè)量
● 高縱橫比測(cè)量
不依賴(lài)于光學(xué)系統(tǒng)的NA進(jìn)行檢測(cè),支持高縱橫比形狀測(cè)量
● 抗干擾震動(dòng)的高穩(wěn)定性
● 小型輕便
使用一般的WLI系統(tǒng),測(cè)量不同反射率的產(chǎn)品時(shí):
當(dāng)視野中包含高反射率和低反射率的部分
1)配合反射率高的部分調(diào)整光量時(shí),反射率低的部分會(huì)光量不足。
2)配合反射率低的部分調(diào)整光量時(shí),反射率高的部分光量發(fā)生飽和,無(wú)法測(cè)量。
而使用三豐的WLI測(cè)量反射率不同地方的測(cè)量時(shí),當(dāng)視野中包含反射率高部分和反射率低部分,光量對(duì)準(zhǔn)反射率低的部分,也可測(cè)量反射率高的部分。
白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo產(chǎn)品規(guī)格:
貨號(hào) | 554-001 | 554-002 | 554-003 | |
產(chǎn)品名稱(chēng) | WLI-Unit-003 | WLI-Unit-005 | WLI-Unit-010 | |
WLI-Unit傳感器測(cè)頭 | 電纜長(zhǎng)度 | 5 | ||
適用物鏡 | WLI Plan Apo系列 | |||
成像倍率 | 1× | |||
焦距f(mm) | 100 | |||
掃描裝置 | 物鏡掃描儀 | |||
尺寸/質(zhì)量 | 108×68×191mm/1.7kg | |||
WLI測(cè)量 | Z向移動(dòng)范圍 | 8000 um | ||
測(cè)量模式 | 高通量 | 標(biāo)準(zhǔn) | 高分辨率 | |
WLI測(cè)量Z向范圍 | 2100 um | 1900 um | 1700 um | |
通量 @ 20um范圍 | 3 s | 4 s | 6 s | |
Z向分辨率 | - | 4 nm | ||
Z向重復(fù)性 | - | 40 nm | ||
軟件 | WLIPAK | WLI-Unit控制庫(kù)SDK、示例代碼、WLIPAK示例GUI | ||
WLI-Unit校準(zhǔn)SW | 像素校準(zhǔn) | |||
分析軟件(推薦選件) | MCubeMap | |||
其它 | 圖像采集卡/PC | Matrox圖像采集卡(標(biāo)配)/另需準(zhǔn)備PC |
白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo案例:
白光干涉測(cè)量用物鏡WLI Plan Apo
白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo產(chǎn)品特點(diǎn):
與WLI-Unit配套的新設(shè)計(jì)
確保長(zhǎng)工作距離,小型輕量化(齊焦距離60mm)
高NA,高分辨力
平場(chǎng)復(fù)消色差
物鏡內(nèi)部搭載分光器和參考鏡
標(biāo)配干涉條紋調(diào)整裝置