超聲波流量計檢測器UCUF系列是半導(dǎo)體制程中涂膠顯影，清洗、CMP、藥液供給等設(shè)備中，純水、超純水和各種化學(xué)藥液的高精度測量的小口徑超聲波流量計，其由UCUF檢測器和SFC轉(zhuǎn)換器組成。

特點(diǎn)>接液部是PFA材質(zhì)，沒有可動部件，接液部沒有容易造成液體滯留的部件(如O型圈)，可以滿足高潔凈度的要求。>不需要前后直管段。>高精度(讀值的1%)>量程從10mL/min到80L/min都可以對應(yīng)。

主要用途>半導(dǎo)體制造行業(yè)用的純水、超純水的流量測量，>各種藥液供給裝置的流量測量。>高腐蝕性液體的流量測量，>CMP Slurry的流量測量。>其他中小口徑液體流量測量。

測量原理原理圖如右圖，采用U型管狀檢測器，液體從入口流入，經(jīng)過90°流入測定管，再經(jīng)過90°從出口流出，測定管的兩端裝有發(fā)送和接受超聲波的壓電傳感器，測量超聲波在液體A→B、B→A間的時間tA、tB。液體靜止時tA=tB，液體流動時，tA由于是順流所以時間短，tB逆流所以時間長，通過tB-tA計算出流速。tA、tB和流量的關(guān)系受管路的尺寸、形狀、藥液粘度等因素影響而不同。通過存有大量實驗數(shù)據(jù)的內(nèi)置線性轉(zhuǎn)換器，實現(xiàn)高精度的測量。

圧電素子 A

伝搬時間 tRA

OUT

超聲波流量計檢測器規(guī)格參數(shù)

>測定對象:液體(不含氣泡，不腐蝕PFA材料)>流體溫度:10~90℃(超過90℃請聯(lián)絡(luò))

>環(huán)境溫度:0~60℃

>流體壓力:0~0.5MPa

1000~2200m/s>音速范圍:

檢測器

型號

最大流量范圍最小流量范圍0-3L/min0-3L/min0-3L/min0-8L/min

0-0.05L/min

UCUF-04SE

UCUF-04AM

0-0.05L/min

UCUF-04E

0-0.05L/min

UCUF-06EUCUF-10K

0-0.4L/min

0-20L/min0-50L/min

0-1L/min

UCUF-15K

0-3L/min

UCUF-20K

0-80L/min0-4L/min

連接口徑

1/41/43/8

3/812

3/4

1

連接線纜>數(shù)量:2根，In和Out各一根。>長度:標(biāo)準(zhǔn)5米(如需其他長度請聯(lián)絡(luò))>材質(zhì):外皮PVC(如需其他材質(zhì)請聯(lián)絡(luò))

>流體運(yùn)動粘度:0.8~40mm2/s>過程連接:PFA管(參照下)>保護(hù)等級:IP65>放置場所:室內(nèi)>流量范圍:參照下表

SFC3000

單通道轉(zhuǎn)換器

多通道轉(zhuǎn)換器

SFC4000SFC-011SSFC8000

SFC3100

轉(zhuǎn)換器端，單通道BNC、多通道SMB.>接頭:檢測器端，UCUF-04SE、04E、06E可拆卸。其他系列不可拆卸。