自動(dòng)檢測(cè) 晶圓檢查顯微鏡涵蓋了XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)、Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)、物鏡模組、光源模組、晶圓放置模組、成像觀察模組、遠(yuǎn)程控制手柄、主動(dòng)對(duì)焦模組、缺陷標(biāo)記模組以及晶圓搬運(yùn)模組等模塊，旨在為半導(dǎo)體行業(yè)提供高效、精準(zhǔn)、全面的晶圓檢測(cè)解決方案。

核心模塊介紹

XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

精度與行程：XY運(yùn)動(dòng)軸精度高達(dá)≤2 μm，行程范圍為205 mm * 205 mm，確保大范圍內(nèi)的精準(zhǔn)定位。

便捷操作：配備離合器手柄，實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)，提高操作效率。

Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)

雙控系統(tǒng)：同時(shí)配備電傳手輪和碼盤(pán)，微調(diào)精度≤1 μm，行程≥36 mm，滿(mǎn)足高精度調(diào)焦需求。

物鏡模組

品牌合作：采用蔡司原裝手動(dòng)/電動(dòng)物鏡切換裝置，兼容多種高質(zhì)量物鏡，包括EpiPlan消色差物鏡、EPN半復(fù)消色差物鏡及EPA復(fù)消色差物鏡，提供清晰、無(wú)畸變的圖像。

光源模組

高效照明：提供5W和10W LED透射式光源選項(xiàng)，滿(mǎn)足不同照明需求，確保圖像亮度和對(duì)比度。

晶圓放置模組

多尺寸兼容：載物臺(tái)可兼容4英寸、6英寸和8吋晶圓片，保留透射光路，支持液晶面板檢測(cè)，靈活多變。

成像觀察模組

相機(jī)與目鏡適配：適配蔡司Axiocam系列相機(jī)和?？低曄盗邢鄼C(jī)，可選配蔡司目鏡，提供明場(chǎng)/暗場(chǎng)、微分干涉、熒光和偏光等多種觀察方式。

遠(yuǎn)程控制手柄

集成控制：集成物鏡切換、光強(qiáng)控制、照明切換、Z軸聚焦、XY運(yùn)動(dòng)軸遙感、缺陷標(biāo)記和主動(dòng)對(duì)焦等功能，實(shí)現(xiàn)一鍵式操作。

主動(dòng)對(duì)焦模組

實(shí)時(shí)對(duì)焦：兼容主動(dòng)對(duì)焦模組，在50×物鏡下實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)對(duì)焦，確保圖像始終清晰。

缺陷標(biāo)記模組

實(shí)時(shí)標(biāo)記：兼容缺陷標(biāo)記模組，可對(duì)樣品缺陷部分進(jìn)行實(shí)時(shí)標(biāo)記，便于后續(xù)處理。

晶圓搬運(yùn)模組

自動(dòng)上下料：兼容晶圓搬運(yùn)模組，實(shí)現(xiàn)晶圓片的自動(dòng)上下料，提高生產(chǎn)效率。

自動(dòng)檢測(cè) 晶圓檢查顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

高精度：各運(yùn)動(dòng)軸及物鏡切換裝置均具備高精度性能，確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。

多功能：集成多種觀察方式和輔助功能，滿(mǎn)足不同檢測(cè)需求。

易操作：遠(yuǎn)程控制手柄設(shè)計(jì)人性化，操作簡(jiǎn)便快捷。

兼容性強(qiáng)：可兼容多種尺寸的晶圓片和相機(jī)設(shè)備，適應(yīng)性強(qiáng)。

應(yīng)用領(lǐng)域

該晶圓檢測(cè)顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、液晶面板檢測(cè)、材料科學(xué)研究等領(lǐng)域，為各類(lèi)精密檢測(cè)提供有力支持。