D700T 壓力不敏感質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號(hào) D700T
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/7 15:37:59
- 訪問次數(shù) 41
質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量計(jì)HORIBA堀場D700T高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件 | 動(dòng)態(tài)范圍 | 可定制 |
| 支持氣體 | 支持多種氣體及單位（sccm ~ slm） | 控制精度 | ±0.45% S.P. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 小于 100 ms | 通信接口 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
| 使用溫度 | 15°C ~ 60°C | 工作壓力 | ≤0.5 MPa（參考?xì)怏w不同略有差異） |
HORIBA D700T 壓力不敏感質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品概述
HORIBA D700T 是一款面向半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的壓力不敏感質(zhì)量流量控制器，采用優(yōu)良的 CRITERION® 壓力式流量測量與控制技術(shù)，具備出色的響應(yīng)速度、壓力不敏感性和高精度控制能力。該產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示器、光電子等制造領(lǐng)域的氣體輸送系統(tǒng)中。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng)時(shí)間
配備新一代控制算法和雙閥門結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了 小于 100 ms 的高速響應(yīng)，大幅提高了生產(chǎn)效率。進(jìn)/出口壓力變化不敏感
補(bǔ)償機(jī)制可在工藝過程中壓力波動(dòng)的情況下維持穩(wěn)定流量，保障工藝一致性。高重復(fù)性與高精度
重復(fù)性：≤ ±0.15% F.S.
精度：優(yōu)良可達(dá) ±0.45% S.P.，典型值為 ±0.8% S.P.
故障檢測與自診斷功能
具備優(yōu)良的自診斷能力，實(shí)時(shí)監(jiān)測并反饋壓力漂移、閥體泄漏等潛在風(fēng)險(xiǎn)。數(shù)字化通信接口
支持DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT等工業(yè)協(xié)議，方便與上位系統(tǒng)集成。適應(yīng)嚴(yán)苛工藝環(huán)境
工作溫度范圍：15°C ~ 60°C，適用于各種潔凈室條件。
技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù) | 數(shù)值 |
| 控制范圍 | 可定制 |
| 支持氣體 | 多種氣體 |
| 控制精度 | ±0.8% S.P.（典型），±0.45% S.P.（優(yōu)良） |
| 重復(fù)性 | ±0.15% F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 100 ms |
| 通信接口 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
| 工作壓力 | 真空至 300 kPa |
| 使用溫度 | 15°C ~ 60°C |
| 接口類型 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體前段工藝（如刻蝕、沉積、離子注入）
顯示面板制造
化學(xué)氣相沉積（CVD）
原子層沉積（ALD）
光電子與精密材料工藝
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