Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

省電設計，運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。

各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

?半導體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD 制造

?表面處理、表面改性

?各種電子元件的制造

?分析、檢測設備

?管材、光學元件的制造

?加速器、放射線設施、聚變研究

?熱處理

?研發(fā)

結構與工作原理

（1）核心組件

轉子葉片：多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片（轉速約20,000~90,000 RPM）。

定子葉片：與轉子交錯排列，形成氣體通道。

電機：高頻交流電機或磁懸浮軸承電機（避免機械磨損）。

排氣口：連接前級泵（如旋片泵），排出壓縮后的氣體。

（2）工作原理

動量傳遞：高速旋轉的葉片撞擊氣體分子，使其向下級運動（分子流態(tài)下有效）。

壓縮比：每級葉片對氣體進行壓縮，最終由前級泵排至大氣。

工作壓力范圍：依賴分子流狀態(tài)（需氣體分子平均自由程＞葉片間距）。

?? 注：渦輪分子泵在**分子流態(tài)（壓力＜10?1 Pa）**下效率高，需避免大氣壓下啟動（會過熱損壞）。