CVD氣源發(fā)生器
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 蘇州阿洛斯環(huán)境發(fā)生器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/2 10:18:30
- 訪問次數(shù) 48
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 環(huán)保,化工,綜合 |
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設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設計的嵌入式預熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過蒸發(fā)段氣化，隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。
例
PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。
含錫前驅(qū)體 | ≤60 | sccm |
含氟前驅(qū)體 | ≤20 | sccm |
H2O | ≤60 | sccm |
功率 | 7.5 | kW |
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