MM-3482L LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥ 25370 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號 MM-3482L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/26 17:21:25
- 訪問次數(shù) 28
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3482L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3482L
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。
核心技術(shù)架構(gòu)
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設(shè)計，溫度分辨率達0.01℃
壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）
科里奧利式：直接質(zhì)量測量，精度可達±0.1%讀數(shù)
閥體系統(tǒng)：
壓電瓷閥（響應(yīng)時間<10ms）
電磁比例閥（壽命>10?次循環(huán)）
| 溫度 | 最下壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動態(tài)響應(yīng)<50ms）
光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
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