全新EBARA荏原 耐腐蝕性渦旋干式真空泵

全新EBARA荏原 耐腐蝕性渦旋干式真空泵

應(yīng)用環(huán)節(jié)

?硅片生產(chǎn)?：在硅片生產(chǎn)過程中，干式真空泵提供高精度的真空環(huán)境，確保硅晶體的拉制質(zhì)量?。

?電池片制造?：在電池片的制造過程中，干式真空泵用于真空封裝，確保電池片中的材料質(zhì)量和性能?。

?電池組件封裝?：在電池組件的封裝過程中，干式真空泵提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保組件的質(zhì)量和性能?。

應(yīng)用行業(yè)

包括半導(dǎo)體制造、真空冶金、食品工業(yè)、科學(xué)研究院、航空航天、醫(yī)療設(shè)備、光學(xué)儀器等。

LED行業(yè)應(yīng)用

有效應(yīng)用于LED制造的各類制程中

隨著顯示器從 LCD 到 LED 到 OLED 過渡，更精確的測量和精密的控制是必需的要求。 正是基于這個原因，顯示器制造業(yè)不斷投資于新的技術(shù)和功能。

?半導(dǎo)體工業(yè)?：在半導(dǎo)體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?。

干式真空泵是一種無需液體密封或潤滑的真空設(shè)備，其工作原理基于機械運動改變工作腔容積以實現(xiàn)氣體抽吸和壓縮。以下是對其工作原理的詳細解析：

?核心原理?

干式真空泵通過機械部件的運動，周期性地改變密閉腔體的容積，形成吸氣、壓縮和排氣過程。由于無液體參與密封，其設(shè)計依賴于精密配合的間隙和特殊材料，確保高效密封和耐磨性。

?主要類型及工作方式?

1. ?爪式泵（Claw Pump）?

• ?吸氣階段?：轉(zhuǎn)子分離時，腔體容積增大，吸入氣體。

• ?壓縮階段?：轉(zhuǎn)子閉合，氣體被壓縮并推向排氣口。

• ?排氣階段?：壓縮氣體通過排氣閥排出。

• ?結(jié)構(gòu)?：兩個爪形轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)反向旋轉(zhuǎn)。

• ?工作流程?：

• ?特點?：非接觸式設(shè)計，轉(zhuǎn)子間隙小，耐粉塵。

2. ?螺桿式泵（Screw Pump）?

• ?結(jié)構(gòu)?：兩根平行螺桿（通常為單頭或雙頭螺紋）相互嚙合。

• ?工作流程?：螺桿旋轉(zhuǎn)時，氣體沿軸向被封閉在螺桿齒槽內(nèi)，從吸氣端推送至排氣端，通過容積縮小實現(xiàn)壓縮。

• ?特點?：連續(xù)排氣，振動小，適合中高真空。

3. ?羅茨泵（Roots Pump）?

• ?結(jié)構(gòu)?：兩個“8”字形葉輪嚙合旋轉(zhuǎn)。

• ?工作流程?：葉輪高速反向旋轉(zhuǎn)，將氣體從進氣口推向排氣口，依賴多級串聯(lián)提高壓縮比。

• ?特點?：無內(nèi)壓縮，需前級泵配合；大抽速，適合粗真空。

4. ?渦旋泵（Scroll Pump）?

• ?結(jié)構(gòu)?：由動渦盤和靜渦盤組成，動盤繞靜盤中心作偏心運動。

• ?工作流程?：氣體在渦旋槽內(nèi)被分隔成多個密閉腔，隨著動盤運動，腔體向中心移動并逐漸縮小，氣體被壓縮排出。

• ?特點?：結(jié)構(gòu)緊湊，低噪音，適合潔凈環(huán)境。

5. ?往復(fù)式活塞泵（Piston Pump）?

• ?結(jié)構(gòu)?：活塞在氣缸內(nèi)往復(fù)運動，配以閥門控制氣流。

• ?工作流程?：活塞后移時吸氣，前移時壓縮氣體并排出。

• ?特點?：可達到較高真空度，但振動較大。

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