EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT427M

EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT427M

渦輪分子泵是一種高真空泵，利用高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片與氣體分子碰撞，將氣體分子從進(jìn)氣口推向排氣口，從而實(shí)現(xiàn)高真空的獲取。它由德國物理學(xué)家貝克（W. Becker）于1958年發(fā)明，是現(xiàn)代高真空和超高真空技術(shù)中的核心設(shè)備之一。渦輪分子泵通常與前置泵（如干式泵或旋片泵）結(jié)合使用，以在寬壓力范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高效抽氣。

特點(diǎn)

無油污染：與油封式真空泵不同，渦輪分子泵在運(yùn)行過程中無需油液潤滑，避免了油蒸氣對(duì)真空環(huán)境的污染，特別適合高潔凈度要求的應(yīng)用。

寬壓力范圍：渦輪分子泵能夠在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范圍內(nèi)高效工作，與前置泵配合可實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的抽氣。

高抽氣速度：渦輪分子泵對(duì)輕質(zhì)氣體（如氫氣、氦氣）和中質(zhì)氣體（如氮?dú)狻⒀鯕猓┚哂休^高的抽氣速度，能夠快速建立并維持高真空環(huán)境。

結(jié)構(gòu)精密：渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片采用精密加工技術(shù)，確保高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的穩(wěn)定性和可靠性。

低振動(dòng)和低噪音：現(xiàn)代渦輪分子泵采用先進(jìn)的動(dòng)平衡技術(shù)和減振設(shè)計(jì)，運(yùn)行時(shí)振動(dòng)和噪音極低

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環(huán)境。

科學(xué)研究：在粒子加速器、核聚變實(shí)驗(yàn)、表面物理和材料科學(xué)等領(lǐng)域，渦輪分子泵用于實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境。