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高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU3900/SU3800 SE Series
- 公司名稱 日立科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/2/25 21:35:39
- 訪問(wèn)次數(shù) 29
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SU3900/SU3800 SE系列作為FE-SEM產(chǎn)品，配置超高分辨率與觀察能力。此系列突破了傳統(tǒng)SEM產(chǎn)品受安裝樣品尺寸與重量的限制，通過(guò)簡(jiǎn)單的操作即可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集?？捎糜阡撹F等工業(yè)材料，汽車、航空航天部件等超大、超重樣品的觀察。
此外，SE系列包括4種型號(hào)（兩種類型，兩個(gè)等級(jí)），滿足眾多領(lǐng)域的測(cè)試需求。用戶可以根據(jù)實(shí)際用途（如微觀結(jié)構(gòu)控制：用于改善電子元件、半導(dǎo)體等材料的功能和性能；異物、缺陷分析：用于提高產(chǎn)品品質(zhì)）選擇適合的產(chǎn)品。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
熱場(chǎng)SEM支持低真空，搭載超大樣品倉(cāng)，可擴(kuò)展實(shí)現(xiàn)更多功能
電子顯微鏡是進(jìn)行材料形貌評(píng)價(jià)與分析的重要手段，而且直接觀察樣品的需求很常見(jiàn)。
SU3900/SU3800SE系列搭載牢固的多用途樣品倉(cāng)，對(duì)于非導(dǎo)電性樣品，無(wú)需進(jìn)行導(dǎo)電處理（金屬鍍膜）；對(duì)于超大超重樣品，無(wú)需進(jìn)行切割等破環(huán)處理，可以直接安裝到樣品臺(tái)，實(shí)現(xiàn)樣品的多角度觀察。
【SU3900SE/SE Plus】
ф300mm晶圓安裝示例 在使用樣品交換倉(cāng)時(shí)
也可以安裝高度45mm的樣品。
130mm 高金屬配件安裝示例
具有更高的分辨率和樣品極表面信息觀察的能力
此系列搭載新開(kāi)發(fā)的熱場(chǎng)電子槍，在高、低加速電壓條件下，均可獲得超高分辨率圖像。
型號(hào)（SE Plus）可以滿足對(duì)樣品極表面的觀察需求。
并且，標(biāo)配的低電壓高靈敏度背散射電子探測(cè)器，可以獲取高質(zhì)量的樣品成分和凹凸信息。
SE系列的探測(cè)系統(tǒng)，通過(guò)選配的UVD探測(cè)器，還可以獲得樣品多種類型信息，實(shí)現(xiàn)多種模式觀察。
自動(dòng)化、輔助功能讓操作更便捷
SU3900/SU3800 SE系列配備自動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整功能，可大量簡(jiǎn)化操作流程。
此外，使用選配功能【EM Flow Creator】，可以自動(dòng)連續(xù)獲取圖像。
將條件設(shè)置（如放大倍率，樣品臺(tái)位置等）、調(diào)整對(duì)焦/對(duì)比度等SEM功能轉(zhuǎn)化為可組合的模塊，生成一系列觀察程序。每個(gè)客戶都可以創(chuàng)建自己的觀察程序。
通過(guò)拖拽模塊，可以像流程表一樣創(chuàng)建程序。通過(guò)執(zhí)行創(chuàng)建的程序，即可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)觀察。
①確定區(qū)域，以×300倍率拍攝低倍圖像
②以×1,000 拍攝同一區(qū)域的中倍圖像
③以×5,000 拍攝同一區(qū)域的高倍圖像
應(yīng)用案例
金屬
鐵絲斷面
可以確認(rèn)韌性斷裂引起的微小孔洞
電子元件
電路板 多層陶瓷電容器橫截面
通過(guò)低倍率、高傾斜觀察，可以確認(rèn)貼裝元件的立體形狀及位置 可以觀察到鎳電極/電介質(zhì)層的成分和晶體襯度
無(wú)機(jī)材料
氧化鋅顆粒 高熵硬質(zhì)合金薄膜
可以觀察到50 nm 左右的細(xì)小顆粒及立體形狀 可以觀察到不同成分/形狀的多個(gè)顆粒的分布
電池材料
鋰離子電池正極材料 鋰離子電池負(fù)極材料
可以觀察到正極材料顆粒與周圍粘合劑的分布 可以觀察到負(fù)極材料最表面的粘合劑
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