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CY-RTP1000-Φ300-T 1200℃RTP退火爐

參考價 13300
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號 CY-RTP1000-Φ300-T
  • 產(chǎn)地 河南省鄭州市高新區(qū)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/12/18 9:17:51
  • 訪問次數(shù) 64

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗,先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界*好評。

如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠信、實力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。


管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機(jī),切斷機(jī),拋光機(jī)

簡單介紹:

1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術(shù),可實現(xiàn)真正的基底溫度測量,不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補(bǔ)償,溫度控制**,溫度重復(fù)性高,客戶包括國際上許多半導(dǎo)體公司及科研團(tuán)隊,是半導(dǎo)體制程退火工藝的理想選擇


詳情介紹:

  • 一些高溫陶瓷材料的燒結(jié)后處理可以使用 1200℃RTP 退火爐。例如,氧化鋁(Al?O?)陶瓷在燒結(jié)過程中可能會出現(xiàn)殘余應(yīng)力,1200℃快速退火能夠有效消除這些殘余應(yīng)力,提高陶瓷材料的機(jī)械性能,如強(qiáng)度和韌性。同時,對于含有添加劑的陶瓷材料,退火過程還可以促進(jìn)添加劑在陶瓷基體中的均勻分布,進(jìn)一步改善陶瓷的性能。

  • 在某些金屬合金的熱處理中,1200℃RTP 退火爐也有應(yīng)用。例如,對于一些高溫合金,在熔煉和成型后,1200℃的快速退火可以調(diào)整合金的組織結(jié)構(gòu),細(xì)化晶粒,提高合金的高溫性能,如高溫強(qiáng)度和抗蠕變性能。


技術(shù)特色:

• 真正的基片溫度測量,無需傳統(tǒng)的溫度補(bǔ)償

• 紅外鹵素管燈加熱

• 極其優(yōu)異的加熱溫度**性與均勻性

• 快速數(shù)字PID溫度控制

• 不銹鋼冷壁真空腔室

• 系統(tǒng)穩(wěn)定性好

• 帶觸摸屏的PC控制

• 兼容常壓和真空環(huán)境,真空度標(biāo)準(zhǔn)值為5×10-3Torr,采用二級分子泵真空度低至5×10-6Torr

• *高3路氣體(MFC控制)

• 沒有交叉污染,沒有金屬污染

  技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

1200℃RTP退火爐

產(chǎn)品型號

CY-RTP1000-Φ300-T

基片尺寸

12英寸

基片基座

石英針(可選配SiC涂層石墨基座)

溫度范圍

150-1200℃

加熱速率

10-150℃/S

溫度均勻性

≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer)

≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor)

溫度控制精度

≤ ±3℃

溫度重復(fù)性

≤ ±3℃

真空度

5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr

氣路供應(yīng)

標(biāo)準(zhǔn)1路N2吹掃及冷卻氣路,由MFC控制(*多可選3路)

退火持續(xù)時間

≥10min@1200℃

溫度控制

快速數(shù)字PID控制

尺  寸

890mm*950mm*1400mm


相關(guān)分類

氧化擴(kuò)散設(shè)備


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