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無損電阻率測(cè)試儀

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電阻率晶圓缺陷無損方阻渦流法

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公司成立于2021年,是一家注冊(cè)在蘇州、具備技術(shù)的非接觸式半導(dǎo)體檢測(cè)分析設(shè)備制造商。公司集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售于一體,主要攻克國(guó)外壟斷技術(shù),替代進(jìn)口產(chǎn)品,使半導(dǎo)體材料測(cè)試設(shè)備國(guó)產(chǎn)化。

主要產(chǎn)品:非接觸式無損方塊電阻測(cè)試儀、晶圓方阻測(cè)試儀、方阻測(cè)試儀、硅片電阻率測(cè)試儀、渦流法高低電阻率分析儀、晶錠電阻率分析儀、渦流法電阻率探頭和PN探頭測(cè)試儀、遷移率(霍爾)測(cè)試儀、少子壽命測(cè)試儀,晶圓、硅片厚度測(cè)試儀、表面光電壓儀JPV\SPV、汞CV、ECV。碳化硅、硅片、氮化鎵、襯底和外延廠商提供測(cè)試和解決方案。

憑借*的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)申請(qǐng)各項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)20余項(xiàng),已發(fā)展成為中國(guó)大陸少數(shù)具有一定國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體專用設(shè)備提供商,產(chǎn)品得到眾多國(guó)內(nèi)外主流半導(dǎo)體廠商的認(rèn)可,并取得良好的市場(chǎng)口碑。





晶圓電阻率測(cè)試儀,硅片電阻率測(cè)試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率測(cè)試儀,少子壽命測(cè)試儀

無損電阻率測(cè)試儀介紹:

非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測(cè)量系統(tǒng)。該裝置包含一個(gè)渦流傳感器組,感應(yīng)弱電流到導(dǎo)電薄膜和材料。非接觸式薄膜方塊電阻測(cè)量?jī)x試樣中的感應(yīng)電流產(chǎn)生與測(cè)量對(duì)象的片電阻相關(guān)的電磁場(chǎng)。電渦流技術(shù)不依賴于表面特征或形貌。此外,非接觸式單點(diǎn)方阻測(cè)試儀不需要如已知的2或4點(diǎn)探針測(cè)試(2PP, 4PP)或霍爾效應(yīng)或范德波測(cè)量一樣進(jìn)行任何形式的充分的樣品接觸或備樣。非接觸式單點(diǎn)方阻測(cè)試儀既不需要設(shè)置測(cè)試結(jié)構(gòu),也不受表面粗糙度或非導(dǎo)電封裝或鈍化層的影響。此外,測(cè)量不會(huì)對(duì)被測(cè)薄膜產(chǎn)生物理影響。渦流儀器不存在機(jī)械磨損,使用壽命長(zhǎng)。無損電阻率測(cè)試儀的獨(dú)立性與接觸質(zhì)量和它的高速允許實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和準(zhǔn)確性,有利于在研發(fā)和測(cè)試實(shí)驗(yàn)室的各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。


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