LT-400G 過程臭氧分析儀半導體干法清洗設備專用
- 公司名稱 青島朗科電子科技有限公司
- 品牌 Lontec/青島朗科
- 型號 LT-400G
- 產(chǎn)地 山東省青島市嶗山區(qū)株洲路188號
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/11/14 9:32:44
- 訪問次數(shù) 559
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在線式臭氧濃度分析儀，在線式尾氣臭氧濃度分析儀，便攜式臭氧濃度分析儀，手提式臭氧濃度分析儀，空間臭氧濃度傳感器，固定式臭氧檢測儀、臭氧泄漏報警儀，固定式氧氣檢測儀、氧氣泄漏報警儀，水溶臭氧檢測儀，手持式臭氧濃度檢測儀，臭氧催化劑，離子色譜柱，保護柱
過程臭氧分析儀半導體干法清洗設備專用是一款針對測量高濃度臭氧的氣體檢測模塊，用于檢測工業(yè)過程中的氣態(tài)臭氧濃度。基于紫外分光吸收原理設計，利用臭氧氣體對特定紫外線吸收力的大小不同，來達到臭氧濃度檢測的目的，采用耐高壓沖擊的檢測腔室結構及恒溫控制設計，具有精準性和可靠性。
應用領域
本儀器主要應用于測量半導體晶片制造、水處理和臭氧研究等過程中產(chǎn)生的氣態(tài)臭氧濃度，測量范圍可達到0-400mg/L。
產(chǎn)品特點
①高穩(wěn)定性；
②采用自動控制系統(tǒng)；
③高純度接觸材料設計；
④溫度、壓力、光源實時補償，在不同環(huán)境下數(shù)據(jù)穩(wěn)定準確；
⑤氣路直線設計，使得產(chǎn)品安裝更為方便；
⑥密封圈采用全氟醚材質，更耐臭氧腐蝕。
過程臭氧分析儀半導體干法清洗設備專用技術參數(shù)
量 程：0-400mg/L
精 度：1%F.S
重 復性：1%F.S
零 漂 移：1%F.S/月
響應時間：2秒到95%
氣體流量：0.5-25L/min
壓力范圍：0-115psi
模擬輸出：0-5V
串口通訊：RS485，波特率9600bps
電源輸入：15V
接 口：316L不銹鋼1/4VCR接頭
預熱時間：15min
工作溫度：5～45℃
標準溫度：0℃
尺 寸：170*55*134.9mm
重 量：1.1k
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