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KaRon 設(shè)備 部件鍍膜設(shè)備

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鍍膜

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

本裝置是一款在真空環(huán)境下對產(chǎn)品外部進(jìn)行非導(dǎo)電體涂層的專業(yè)Coating設(shè)備。其核心特點(diǎn)包括:

真空環(huán)境操作:
設(shè)備在真空狀態(tài)下運(yùn)行,確保涂層過程不受外界雜質(zhì)干擾,保證涂層質(zhì)量。
自傳與公轉(zhuǎn)結(jié)合:
產(chǎn)品在真空室內(nèi)不僅進(jìn)行自轉(zhuǎn),還同時進(jìn)行公轉(zhuǎn)運(yùn)動,這種復(fù)合運(yùn)動方式有助于實(shí)現(xiàn)均勻且致密的涂層效果。
精確控制膜厚度:
設(shè)備具備精確的控制機(jī)制,能夠確保涂層保持一定的厚度,滿足不同的生產(chǎn)需求。
綜上所述,本裝置作為一款先進(jìn)的真空Coating設(shè)備,通過其自轉(zhuǎn)與公轉(zhuǎn)結(jié)合的運(yùn)動方式,以及精確的膜厚度控制能力,為產(chǎn)品外部非導(dǎo)電體涂層提供了高效、高質(zhì)量的解決方案

設(shè)備構(gòu)成Thermal Evaporation
到達(dá)真空3 x 10-6 Torr
排氣構(gòu)成D/P + MBP + Rotary Pump
產(chǎn)品回轉(zhuǎn)真空內(nèi)自轉(zhuǎn),公轉(zhuǎn)驅(qū)動
Sputter TargetSUS,Ni,Al,Sn,Ti
Cycle Time8~12 min





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