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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設備>化學機械拋光機(CMP)>TSP-400/450/380 單面拋光機

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TSP-400/450/380 單面拋光機

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晶圓拋光

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










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1.  產品概述:

單面拋光機是一種高精度平面拋光設備,主要用于對片狀、圓盤類或其他非金屬和金屬零件的表面進行拋光處理。它通過旋轉運動,使磨料在磨具上作往復運動,以摩擦的形式去除工件表面的粗糙度(如氧化劃痕等),同時利用磨料的滾動和加壓作用,使工件表面達到一定的光潔度。

2 設備用途/原理:

單面拋光機廣泛應用于以下域和材料的加工:

  1. 石英晶體片、硅、鍺片等半導體材料的平面拋光。

  2. 玻璃、陶瓷片等非金屬材料的精細拋光。

  3. 活塞環(huán)、閥板、閥片、軸承等機械零件的平面處理。

  4. 鉬片、藍寶石等特殊材料的拋光加工。

3. 設備特點

1 高精度加工:單面拋光機通過精確的機械結構和控制系統,能夠實現對工件表面的高精度拋光,滿足嚴格的加工要求。

2 靈活可調:設備配備了加壓氣缸和拋光液自動供給裝置,可以隨意調節(jié)拋光壓力和拋光時間,以適應不同材料和加工需求。

3 穩(wěn)定可靠:主機選用變頻調速電機驅動,裝備大功率減速體系,實現軟啟動和軟中止,作業(yè)平穩(wěn)可靠。

4 操作便捷:機床造型及內部結構充分考慮了操作和維修的便利性,易于操作和維護。

5 智能控制:部分先進型號的單面拋光機還配備了文本顯示器和電機變頻調速系統,能夠精確控制拋光量和磨削速度,實現智能化加工。

6 多樣化設計:單面拋光機可根據加工工件的不同,定制不同的工作臺和夾具,以適應多樣化的加工需求。

綜上所述,單面拋光機以其高精度、靈活可調、穩(wěn)定可靠、操作便捷和智能控制等特點,在多個域和材料的加工中發(fā)揮著重要作用。

規(guī)格/型號

TSP-400

TSP-450

TSP-380

拋光盤規(guī)格

OD400mm

OD450mm

OD380mm

陶瓷盤規(guī)格

Max139mm

Max159mm

Max139mm

拋光頭數量

2

2

2

拋光盤轉速范圍

0~90 RPM

0~90 RPM

0~70 RPM

拋光頭轉速范圍

0~60RPM

0~60RPM

0~60RPM

硬軌液壓車刀系統

可選配

可選配

拋光頭加壓方式

砝碼或真空拋光壓頭

砝碼或真空拋光壓頭

砝碼或真空拋光壓頭

拋光頭擺動功能

具備

具備

具備




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