UTM-MS ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)
參考價 | ¥ 3650 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 深圳市京都玉崎電子有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 UTM-MS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/4/26 10:55:02
- 訪問次數(shù) 421
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光學(xué)設(shè)備、電子計測儀器、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動化
產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 2千-5千 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,建材/家具,綜合 | 供貨號 | 137.1702.5688 |
ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)
ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應(yīng)
特點
泵體和控制器分開。控制器可以監(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。
自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設(shè)計更靈活。
排氣速度300L/s~4000L/s的型號陣容。
分子泵轉(zhuǎn)速在25-100%范圍內(nèi)可變。通過改變轉(zhuǎn)速在腔室中實現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。
高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。
用途
各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體制造設(shè)備
- 蒸鍍設(shè)備
- 濺射設(shè)備
- 研究開發(fā)設(shè)備
- 分析設(shè)備、實驗裝置等主真空泵系統(tǒng),用于不產(chǎn)生副反應(yīng)生成物的輕工藝產(chǎn)線的真空系統(tǒng)。
其他的高真空排氣系統(tǒng)。
規(guī)格
模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
進氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
出線口 | KF25 | KF40 | ||||||||
冷卻方式 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | ||
極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
抽速*2 | 氮氣 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
氬氣 | 升/秒 | ー | ||||||||
他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
氫2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
壓縮率 | 氮氣 | 1×10 9 | ||||||||
他 | 8×10 4 | |||||||||
氫2 | 1×10 4 | 4×10 3 | ||||||||
最大入口壓力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
最大出口壓力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
旋轉(zhuǎn)速度 | 轉(zhuǎn)速 | 45000 | 35000 |
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