原裝Vat Vakuumventile板閥

Vat Vakuumventile是的高性能真空閥、多閥組件、真空模塊和金屬隔膜波紋管的開發(fā)商和生產(chǎn)商。Vat Vakuumventile的產(chǎn)品和服務(wù)主要用于半導(dǎo)體、顯示器和太陽能電池板制造，以及在特殊真空條件下運行的各種工業(yè)和研究應(yīng)用。

Vat真空閥適用于高真空、超高真空和超高真空的所有真空水平。Vat真空閥是在潔凈室條件下制造的，并根據(jù)不同的應(yīng)用進(jìn)行定制。除了高純度外，Vat真空閥還具有高精度的功能和耐用性，即使在的工藝條件下也能保持良好的性能。

一、主要產(chǎn)品

Vat擁有全面的真空控制閥、真空隔離閥、真空擺閥、真空滑閥和全金屬真空閥，為各種應(yīng)用提供最佳解決方案。

1.真空控制閥

Vat真空控制閥設(shè)計堅固，特別適用于氣流中可能存在顆粒的惡劣下游工藝。即使在顆粒負(fù)荷和沉積物較高的情況下，控制閥也能保持正常工作。Vat真空控制閥具有出色的防顆粒特性，關(guān)閉板的接觸運動和最佳阻尼開閉運動消除了傳統(tǒng)閥門常見的沖擊和振動。Vat真空控制閥采用各種鎖定技術(shù)，即使在壓縮空氣或電源出現(xiàn)故障的情況下，仍能安全地保持真空。

2.真空隔離閥

真空隔離閥是一種用于將真空系統(tǒng)的一部分與系統(tǒng)的其余部分隔離的真空閥，防止氣體或空氣進(jìn)入或離開隔離區(qū)域，從而保持該區(qū)域的真空度。Vat真空隔離閥通常由鋁或不銹鋼制成，并帶有彈性體密封，也有由金屬制成的，可承受高溫、輻射或侵蝕性介質(zhì)等惡劣的操作條件。Vat真空隔離閥即使在極快的開啟和關(guān)閉速度下，也幾乎不會產(chǎn)生振動或摩擦。

3.真空擺閥

真空擺閥是特殊類別的絕緣控制閥，其中真空板通過旋轉(zhuǎn)運動移出開口橫截面。由于具有非常精細(xì)的傳導(dǎo)控制功能，因此是工藝室下游壓力控制的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。Vat真空擺閥設(shè)計緊湊，震動小，開啟和關(guān)閉輕柔，避免過程中產(chǎn)生顆粒。

原裝Vat Vakuumventile板閥