簡介：

透明晶圓缺陷掃描Lumina AT2可以在3分鐘內(nèi)完成300毫米晶圓的掃描，對(duì)于基底上下表面的顆粒、凸起、凹陷、劃痕、內(nèi)含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底，如玻璃，化合物半導(dǎo)體如氮化鎵、砷化鎵、碳化硅等樣品上有的勢也可用于薄膜涂層的成像厚度變化的全表面掃描。樣品300 x 300 mm。

廠商簡介

Lumina Instruments，總部位于美國加利福尼亞州圣何塞，公司創(chuàng)始人在透明、半透明和不透明基板全表面缺陷檢測創(chuàng)新了更快速準(zhǔn)確的方法，因此創(chuàng)建了革命性的儀器品牌lumina.

技術(shù)創(chuàng)新

將樣片放入系統(tǒng)中，3~5分鐘即可完成掃描。

收集的數(shù)據(jù)將被分析，圖像和缺陷圖將由LuminaSoft軟件生成。

感興趣的缺陷可在掃描電子顯微鏡（SEM）、橢偏儀、顯微鏡等上進(jìn)行進(jìn)一步分析。

將樣品放入系統(tǒng)

直徑為30微米的綠色激光以50毫米的直線運(yùn)動(dòng)，反射光和散射光由四個(gè)探測器捕獲。

四通道檢測

透明晶圓缺陷掃描LuminaAT2有四個(gè)檢測通道。它們同時(shí)運(yùn)行以生成四個(gè)獨(dú)立的圖像。每個(gè)通道有助于檢測和分類某些缺陷。

極化：薄膜缺陷、污漬

反射率：劃痕、內(nèi)應(yīng)力*、玻璃內(nèi)的條紋*

坡度：劃痕、凹坑、凸起、表面形貌

暗場：納米顆粒、包裹體

透明晶圓缺陷掃描Lumina AT2和 AT2透明晶圓缺陷掃描LuminaAuto：AT2采取的樣品的尺寸為450mm，AT2-Auto采取樣品的尺寸為200mm。光斑的大小在都在60μm也可以選擇30或10μm；靈敏度在300nm理想；掃描時(shí)間在40/50/120s。