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化工儀器網(wǎng)>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>物理氣相沉積設備>MS450 小型鍍膜設備

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MS450 小型鍍膜設備

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       江蘇雷博科學儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專業(yè)的實驗室儀器開發(fā)為目標的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè)。2020年8月,江蘇雷博科儀通過資源整合,將雷博科儀中發(fā)展起來的的工業(yè)半導體設備業(yè)務分拆出來成立了江蘇雷博微電子設備有限公司。兩家公司使用同一品牌 ,獨立經營不同系列產品。公司主營高檔實驗室儀器及半導體設備開發(fā)業(yè)務。公司技術力量雄厚,人才濟濟,憑借雄厚的技術實力不斷進行新產品開發(fā)和創(chuàng)新實現(xiàn),在納米薄膜制備類儀器領域取得了顯著的市場地位。公司生產的高精度高可靠性勻膠機榮獲江蘇省高新技術產品,是國內勻膠機全系列、多功能、定制化服務的供應商。
       公司生產和銷售不同領域的高檔科研儀器和工業(yè)半導體設備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、烤膠機、提拉機、噴膠機、涂膜機、狹縫涂布機等相關產品;LEBO science®是我們的工業(yè)半導體設備品牌,主要有勻膠機、顯影機、蝕刻機、去膠機、清洗機等獨立柜式機臺及工業(yè)全自動機臺。
       公司產品被廣泛應用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導體及先進封裝等領域,具有核心技術可靠、高性價比、定制化服務的競爭優(yōu)勢。 

       公司目前團隊人數(shù)80多人,業(yè)績和規(guī)模處于快速擴展期,2013年起年銷售額一直保持快速增長,目前正準備二輪融資擴產。公司生產廠房設有裝配潔凈車間及黃光試驗區(qū),其中生產區(qū)域約1500平方米,辦公及倉儲區(qū)域約1000平方米。

勻膠機,烤膠機,涂膜機,狹縫涂布機,紫外清洗機,電解雙噴儀

  小型鍍膜設備是為掃描電鏡和電子探針等進行試樣制備的設備,可進行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。用本設備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進行成分分析,尤其是成分的定量分析更為適宜。本儀器配有機械泵、分子泵,分子泵系統(tǒng)特別適用于對真空度要求高、真空環(huán)境好的用戶選用。
 
  1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。
 
  2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成。
 
  3.該設備主機與控制一體化設計,操控方便;結構緊湊,占地面積小。
 
  4.主要用途:
 
  1. 開發(fā)納米級單層、多層及復合膜層等。
 
  2. 制備金屬膜、合金膜、半導體膜、陶瓷膜及介質膜等,例:銀、鋁、 銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、氮化鈦、氮化鉻、ITO......
 
  3. 兩靶單獨濺射、依次濺射、共同濺射。
 
  5.應用領域:
 
  1. 高校、科研院所的教學、科研實驗及生產型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產品等。
 
  2. 鈣鈦礦太陽能電池、OLED、OPV 太陽能電池等行業(yè)。
 
  薄膜均勻性概念:
 
  1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內,也就是說對于薄膜的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要實現(xiàn)10A甚至1A的表面平整。
 
  2、化學組分上的均勻性: 就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學,那么實際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。
 
  3、晶格有序度的均勻性: 這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題。
 


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