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批量式電漿輔助氣相沉積設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/7/10 13:47:00
  • 訪問次數(shù) 652

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊,專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

 

半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池

批量式電漿輔助氣相沉積設(shè)備(Batch Type Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)為一種使用化學(xué)氣相沉積技術(shù),可為沉積反應(yīng)提供能量。與傳統(tǒng)的CVD方法相比,可在較低的溫度下沉積各種薄膜且不會降低薄膜質(zhì)量。

此系統(tǒng)為專對派瑞林(Parylene)所設(shè)計,其腔體內(nèi)部具有公自轉(zhuǎn)知特性,並批量式生產(chǎn)。而Parylene薄膜具有高均勻性、高填孔特性、高穿透性…等特性??蓱?yīng)用於光電元件封裝、電路板絕緣…等。

批量式電漿輔助氣相沉積設(shè)備參數(shù):

應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 醫(yī)療和商業(yè)產(chǎn)品的耐磨薄膜

  • 封裝、絕緣

  • 防刮顯示屏

  • 客製化的腔體尺寸,取決於基板尺寸和其應(yīng)用

  • 通過使用水冷、水熱系統(tǒng)或加熱器來控制腔體溫度


配置和優(yōu)點(diǎn)選件
  • 客製化的基板

  • 多載片

  • 優(yōu)異的薄膜均勻性小於+-3%

  • 精準(zhǔn)流量控制器,氣體分佈高度均勻

  • 使用電容式藕荷電漿(CCP)





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