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RIE-10NR 日本SAMCO RIE等離子蝕刻設(shè)備

參考價(jià)10000000-20000000/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 似空科學(xué)儀器(上海)有限公司
  • 品牌其他品牌
  • 型號(hào)RIE-10NR
  • 所在地上海市
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2023/8/11 13:38:30
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 1827

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似空科學(xué)儀器(上海)有限公司是一家儀器設(shè)備的經(jīng)銷(xiāo)商。我們致力于為中國(guó)制造業(yè)和研發(fā)機(jī)構(gòu)提供高精度、符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)的儀器設(shè)備。我們也夢(mèng)想有朝一日,能夠充分掌握市場(chǎng)需求,深刻理解儀器設(shè)備的技術(shù)原理,聚集一批有激情、有理想、有技術(shù)的人,為中國(guó)的制造業(yè)升級(jí)以及中國(guó)科研走向世界,提供自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的先進(jìn)儀器設(shè)備!
儀器設(shè)備發(fā)展的是探測(cè)手段和傳感器不對(duì)被測(cè)目標(biāo)產(chǎn)生任何干擾,企業(yè)管理的是一切以市場(chǎng)為核心,不以自我的意愿抗拒市場(chǎng)的趨勢(shì),代替客戶(hù)的喜好,于是我們?nèi)∶?ldquo;似空”,希望以忘我的精神服務(wù)客戶(hù)。

 

失效分析,芯片開(kāi)封,表面觀(guān)測(cè),金相研磨,光學(xué)及視頻顯微鏡,超聲波檢測(cè),X射線(xiàn)檢測(cè),激光微納加工等

晶圓尺寸 8英寸 尺寸 500 mm(寬)x 920 mm(深)x 1501 mm(高)
反應(yīng)室尺寸 φ340mm

 

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

SAMCO RIE-10NR

 





簡(jiǎn)介:

RIE-10NR是一種新型的低成本、
高性能、全自動(dòng)反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),
能夠滿(mǎn)足非腐蝕性氣體化學(xué)最KE刻
的工藝要求。
計(jì)算機(jī)化觸摸屏為工藝配方編
程和存儲(chǔ)提供了用戶(hù)友好的界面。
該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確的側(cè)壁輪
廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。
憑借其圓滑、緊湊的設(shè)計(jì),
RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。
 
應(yīng)用:
硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、
砷化鎵、鉬、鉑、聚酰亞胺等材料的
腐蝕失效分析中的選擇性層腐蝕。




 

 

 

 

 

 

 

主要功能和優(yōu)點(diǎn):
1、加工至?220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1)。
2、高選擇性各向異性蝕刻滿(mǎn)足嚴(yán)格的工藝要求全自動(dòng)“一鍵式”操作。
3、自動(dòng)壓力控制,允許獨(dú)立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過(guò)程壓力精確控制,便于維護(hù)。
4、于Windows的用戶(hù)界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個(gè)可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個(gè)系統(tǒng)。
 
 
 
主要參數(shù)規(guī)格:
基板
220 mm(?3“x 5,?4”x 3,?8”x 1)
負(fù)載
開(kāi)放式
上下電極
?240 mm
射頻功率
300瓦@13.56兆赫,自動(dòng)匹配(500瓦為選項(xiàng))
可切換射頻供電電極(陽(yáng)極/陰極模式)為選項(xiàng)
氣體管道
內(nèi)部2條MFC控制的氣體管道(最多6條)
干泵(500升/分鐘)
操作系統(tǒng)
觸摸屏操作(可選擇基于Windows的用戶(hù)界面)、配方管理
端點(diǎn)檢測(cè)
光學(xué)發(fā)射光譜(OES)作為一種選擇
尺寸
500 mm(寬)x 920 mm(深)x 1501 mm(高)

 

 
 
 
             
 
 
 



 


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