一、簡介

日本RION公司成立于1944年，前身為小林理研株式會社。顆粒計數(shù)器對于半導體、制藥和精密設備的清潔度管理是需要用到的。RION為各種目的提供粒子計數(shù)器，例如液體粒子計數(shù)器作為電子材料開發(fā)的基本設備，用于在制造半導體、顯示面板過程中保持高清潔度的液體粒子計數(shù)器?？蓹z測光阻產(chǎn)品、SOG 、有機溶劑、純水、藥液等產(chǎn)品中小至20nm的顆粒。不僅在國內(nèi)，而且在國際上，我們的產(chǎn)品得到了客戶的好評。

半導體制造過程中會用到各種化學品試劑和藥液，如硝酸、氫氟酸、清洗液和刻蝕液等，其顆粒濃度會影響芯片的良率。

RION的液體顆粒度儀采用*的光散射法原理，可滿足20nm-150um的粒徑測量需求。

二、技術規(guī)格

KS-19F 粒徑0.03-0.13um

KS-18F  粒徑0.05-0.2um

KS-42AF 粒徑 0.1-0.5um

KS-42BF 粒徑0.2-2um

KS-42C 粒徑0.5-20um

KS-42D 粒徑 2um-100um（可擴展150um）

三、應用

檢測制程中電子化學品，高純化學試劑，化學藥液和純水等顆粒數(shù)量。