一、產(chǎn)品概述：

精密離子減薄儀是一種高精度的樣品制備設(shè)備，專(zhuān)門(mén)用于通過(guò)離子轟擊去除材料表面層，以實(shí)現(xiàn)樣品的薄化和表面優(yōu)化。該儀器廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子顯微鏡樣品制備和半導(dǎo)體行業(yè)。

二、設(shè)備用途/原理：

·設(shè)備用途

精密離子減薄儀主要用于制備電子顯微鏡樣品，幫助研究人員獲得高質(zhì)量的超薄樣品，以便進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)分析和材料特性研究。它也適用于去除表面缺陷和改善材料的表面質(zhì)量，以滿足高的應(yīng)用需求。

·工作原理

精密離子減薄儀通過(guò)生成高能離子束并將其聚焦到樣品表面，利用離子轟擊去除表面材料。儀器可以精確控制離子束的能量、轟擊角度和處理時(shí)間，以實(shí)現(xiàn)均勻的減薄效果。通過(guò)調(diào)節(jié)這些參數(shù)，用戶能夠獲得所需的樣品厚度和表面特性，確保樣品在后續(xù)電子顯微鏡觀察中的高分辨率和準(zhǔn)確性。

三、主要技術(shù)指標(biāo)：

1. 兩支獨(dú)立可調(diào)電磁聚焦離子槍

2. 同時(shí)具備高能量(快速拋光)和低能量(精細(xì)修復(fù))

3. 超寬加速電壓范圍：100eV 到 10kV，不同加速電壓下，離子束束斑均保持細(xì)優(yōu)束斑狀態(tài)

4. 每支離子槍均配備對(duì)應(yīng)法拉第杯進(jìn)行離子束直接探測(cè)

5. 采用可調(diào)節(jié)10英寸觸屏控制系統(tǒng)，人機(jī)界面友好，操作簡(jiǎn)潔

6. 自動(dòng)獨(dú)立氣源控制

7. 減薄角度范圍：-15°~+10°連續(xù)可調(diào)

8. 樣品載臺(tái)X-Y可調(diào)，可根據(jù)需要調(diào)整樣品減薄位置

9. 具備原位實(shí)時(shí)觀察及記錄減薄過(guò)程功能

10 .樣品可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)或搖擺，離子束自動(dòng)避讓樣品夾

11. 可通過(guò)時(shí)間、溫度以及透光性自動(dòng)停止

12. 可選液氮冷臺(tái)配置，去除熱效應(yīng)對(duì)樣品的損傷

13. 可選真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置，隔絕樣品與水氧接觸