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離子束系統(tǒng)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地 進(jìn)口

一、產(chǎn)品概述:

聚焦離子束系統(tǒng)(FIB)是一種高精度的材料加工和分析工具,利用聚焦的離子束對(duì)樣品進(jìn)行雕刻、切割和表征。FIB技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)和納米技術(shù)領(lǐng)域,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)微小結(jié)構(gòu)的精確操作和分析。

二、設(shè)備用途/原理

·設(shè)備用途

FIB系統(tǒng)主要用于納米級(jí)材料的加工與表征,包括樣品的切割、沉積、刻蝕以及缺陷分析。它在半導(dǎo)體行業(yè)中用于制造和修復(fù)微電子器件,也可用于材料的微觀結(jié)構(gòu)分析和三維成像,幫助研究人員深入理解材料的特性和行為。

·工作原理

FIB的工作原理是通過加速的離子束(通常是銦離子)轟擊樣品表面,導(dǎo)致材料的原子被擊出或沉積。離子束的聚焦能力使其能夠精確控制加工區(qū)域的大小和深度。通過調(diào)節(jié)離子束的能量和曝光時(shí)間,研究人員可以實(shí)現(xiàn)高精度的材料去除或添加。同時(shí),F(xiàn)IB系統(tǒng)通常配備有掃描電子顯微鏡(SEM),可以在加工過程中實(shí)時(shí)觀察樣品,提供高分辨率的圖像和分析數(shù)據(jù)。此結(jié)合使得FIB成為一項(xiàng)強(qiáng)大的材料研究和加工工具。











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