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ISC150T 高真空離子濺射儀

參考價	￥ 200000
訂貨量	≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

噴金儀噴碳儀高真空離子濺射儀電極制備鍍膜

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公司介紹 主營產(chǎn)品

SuPro Instruments成立于2012年，位于深圳市南山*園片區(qū)。

公司擁有一群熱愛產(chǎn)品設(shè)計與儀器開發(fā)的博士碩士年輕隊伍，致力于材料表面處理和真空薄膜領(lǐng)域提供敏捷+精益級制備、測量和控制儀器

目前公司的主要產(chǎn)品有電鏡制樣方面：離子濺射噴金儀，輝光放電儀，TEM離子清洗儀，磁控濺射噴碳儀，TEM真空儲存站等儀器；

光電薄膜行業(yè)：薄膜應(yīng)力儀

硬質(zhì)涂層行業(yè)：球坑膜厚儀及應(yīng)力儀

展開

電鏡制樣設(shè)備，噴金儀，噴碳儀，離子清洗儀，輝光放電儀薄膜應(yīng)力儀，球坑儀

技術(shù)規(guī)格	參數(shù)
真空泵組	進(jìn)口品牌無油干泵+分子泵組
泵組抽速	>0.7 m3/h隔膜泵+60 L/S 分子泵
極限真空	<10E-3 Pa
工作氣壓	0.5-2 Pa
抽空時間	<5 Min
真空測量	測量范圍大氣壓到10E-3 Pa，進(jìn)口品牌真空計
氣體控制	MFC氣體質(zhì)量流量控制器（50 SCCM Ar）
腔室尺寸	~? 150 *110 mm 耐劃傷石英玻璃標(biāo)配全鋁腔體自動旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)樣品臺
磁控靶源	靶材尺寸 ? 50 *0.1-3 mm （建議厚度>0.2 mm）/ 帶手動擋板可濺射貴金屬Au/Pt等，也可濺射Cr、W、Ag等常規(guī)金屬（通Ar氣）
濺射電源	恒功率磁控DC濺射電源 Max. 30W ，Max. 100 mA
濺射時間	可程序設(shè)定
操作方式	觸摸屏控制
重量尺寸	~30 Kg / 500 mm寬400 mm深470 mm高
輸入電源	110-220V AC，50/60Hz 接地三腳插頭
輸入功耗	<500 W
冷卻方式	風(fēng)冷
質(zhì)量保證	一年免費/終身維護(hù)
備注	以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請聯(lián)系我們