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CC-200 PECVD設備

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PECVD設備

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青島泰斯邁儀器設備有限公司是專業(yè)半導體設備公司，有完善的服務和銷售體系。專業(yè)經營各類進口機械設備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產品綜合服務商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發(fā)科ULVAC-氦質譜檢漏儀;愛發(fā)科ULVAC-真空計;愛發(fā)科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;德國SEW-電機減速機;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;

 

半導體設備

產地類別 進口 應用領域 能源

產品簡介：
Load-lock式Plasma CVD設備CC-200/400是小型的使用便利的可對應從研究開發(fā)到量產的設備。                                     

產品特性：
• 27.12MHz高密度等離子制程
 
• SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對應SiO2膜
 
• 以CF4+O2 Plasma實現(xiàn)腔體清潔功能
 
• 可對應有機EL（OLED）的低溫成膜用heater
 
• 使用Tray可搬送多種基板尺寸
 
• 通過使用真空Box實現(xiàn)C系列的間接連續(xù)制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）

產品應用：
• 功率器件

• LED、LD、高速device等化合物相關

• 有機EL（OLED）開發(fā)

• 太陽電池開發(fā)




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