薄膜應力測量系統(tǒng)
- 公司名稱 巨力光電（北京）科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/16 14:28:13
- 訪問次數(shù) 4322
聯(lián)系方式：李經(jīng)理18911365393 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
AAA 太陽光模擬器,IV測試,雙燈太陽光模擬器,太陽能電池載流子遷移率測試系統(tǒng),太陽能電池瞬態(tài)光電壓 光電流測試，鈣鈦礦太陽能電池&疊層太陽能電池仿真軟件，多通道太陽能電池穩(wěn)定性測試系統(tǒng)，OLED光譜測量系統(tǒng)/角譜儀分析儀，OLED仿真軟件，高分子壓電系數(shù)測試儀，薄膜應力測試系統(tǒng)，薄膜應力測試儀，薄膜熱應力測試儀，桌面原子層沉積系統(tǒng)，鈣鈦礦LED壽命測試儀，太陽能電池量子效率QE測量系統(tǒng)，石墨烯/碳納米管制備技術(shù)，桌面型納米壓印機，太陽能電池光譜響應測試儀，SPD噴霧熱解成膜系統(tǒng)，電滯回線及高壓介電擊穿強度測試系統(tǒng)，電容充放電測試儀，薄膜生長速率測試儀
薄膜應力測試系統(tǒng)，又名薄膜應力計或薄膜應力測量系統(tǒng)！采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對樣品表面應力分布進行統(tǒng)計分析，而且還可以進行樣品表面二維應力、曲率成像分析；并且這種設計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時大大提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應力分析；
典型用戶：Harvard University 2套，
Stanford University，
Johns Hopkins University，
Brown University 2套，
Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute，
西安交通大學，
中國計量科學研究院等、
半導體和微電子制造商（如IBM.，Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC，Nissan ARC,Nichia Glass Corporation）等；
相關產(chǎn)品：
*實時原位薄膜應力儀（kSA MOS Film Stress Tester）：同樣采用多光束MOS技術(shù)，可裝在各種真空沉積設備上（如：MBE, MOCVD, sputtering, PLD, PECVD, and annealing chambers ects），對于薄膜生長過程中的應力變化進行實時原位測量和二維成像分析；
*薄膜熱應力測量系統(tǒng)（kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester）
薄膜應力測試系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
kSA MOS Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System，kSA MOS Film Stress Mapping System;
1.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍：300mm (XY)（可選）；
2.XY雙向掃描速度：可達20mm/s；
3.XY雙向掃描平臺掃描步進/分辨率：down to 2 μm ；
4.樣品holder兼容：50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, and 300mm直徑樣品；
5.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點線性掃描、全面積掃描；
6.成像功能：樣品表面2D曲率、應力成像，及3D成像分析；
7.測量功能：曲率、曲率半徑、應力強度、應力、Bow和翹曲等；
主要特點：
1.程序化控制掃描模式：單點掃描、選定區(qū)域、多點線性掃描、全樣品積掃描；
2.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應力2D成像分析；
3.測量功能：薄膜應力、翹曲、曲率半徑等；
4.支持變溫熱應力測量功能，溫度范圍-65C to 1000C；
5.薄膜殘余應力測量；
實際應用
采購中心
化工儀器網(wǎng)