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半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成

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  北京華測(cè)試驗(yàn)儀器有限公司( 簡(jiǎn)稱: 華測(cè)儀器) 為高新技術(shù)企業(yè),專注于絕緣材料與功能新材料電性能檢測(cè)以及材料電學(xué)測(cè)控設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù),目前公司產(chǎn)品已應(yīng)用于全國(guó)二十多個(gè)省、市、自治區(qū)。
  公司有功能材料、電氣絕緣材料兩個(gè)電學(xué)試驗(yàn)室;涉及材料測(cè)試儀器、器件的放大、調(diào)理、采集、控制;傳感器性能綜合評(píng)價(jià)等相關(guān)儀器。

  產(chǎn)品系列:功能材料電學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng)、絕緣診斷測(cè)試系統(tǒng)、高低溫介電溫譜測(cè)試儀、極化裝置與電源、高壓放大器、PVDV薄膜極化、高低溫冷熱臺(tái)、鐵電壓電熱釋電測(cè)試儀、絕緣材料電學(xué)性能綜合測(cè)試平臺(tái)、電擊穿強(qiáng)度試驗(yàn)儀、耐電弧試驗(yàn)儀、高壓漏電起痕測(cè)試儀、沖擊電壓試驗(yàn)儀、儲(chǔ)能材料電學(xué)測(cè)控系統(tǒng)、壓電傳感器測(cè)控系統(tǒng)。




功能材料電學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng)、絕緣診斷測(cè)試系統(tǒng)、高低溫介電溫譜測(cè)試儀、極化裝置與電源、高壓放大器、PVDV薄膜極化、高低溫冷熱臺(tái)、鐵電壓電熱釋電測(cè)試儀、絕緣材料電學(xué)性能綜合測(cè)試平臺(tái)、電擊穿強(qiáng)度試驗(yàn)儀、耐電弧試驗(yàn)儀、高壓漏電起痕測(cè)試儀、沖擊電壓試驗(yàn)儀、儲(chǔ)能材料電學(xué)測(cè)控系統(tǒng)、壓電傳感器測(cè)控系統(tǒng)。

半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)

功能:

可提供直流電壓/電流輸出,直流電壓/電流測(cè)量和交流信號(hào)輸出以及阻抗測(cè)量

主要技術(shù)指標(biāo):

探針臺(tái):

1.探針臺(tái)主機(jī):卡盤XY運(yùn)動(dòng)范圍200mm*200mm,Z軸運(yùn)動(dòng)范圍25mm

2.絲桿軸承確保移動(dòng),分辨率3.5um

3.針座:精度0.7um

4.加熱臺(tái): 溫度范圍室溫-400℃


半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)


半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀

1.直流I-V測(cè)試:

具有4路SMU,其中2路中等功率SMU,2路高分辨率SMU, 可同時(shí)測(cè)量電壓分辨率0.5μV、電流分辨率0.1fA

2.C-V測(cè)試:頻率1KHz-5MHz;偏置電壓:±25V;測(cè)量精度±0.2 %

3.可實(shí)現(xiàn)C-V和I-V測(cè)量間自動(dòng)切換,不會(huì)影響測(cè)量精度

4.脈沖IV:

提供兩路快速IV/脈沖輸出,具有任意波形產(chǎn)生功能

脈沖寬度:50ns;脈沖電平范圍:-5V~+5V,+/-10V~0V (50 Ω負(fù)載);電壓測(cè)量精度:±0.1%讀值, ±0.1% 量程;電流測(cè)量精度:±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持二極管、三極管、MOS管等半導(dǎo)體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測(cè)量,準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容-電壓(C-V)測(cè)量,時(shí)域測(cè)量等。

半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成

半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀與MM探針臺(tái)/系統(tǒng)集成




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