科晶小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀

型號：GSL-1700X-SPC-2

產(chǎn)品概述：

GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀，可以設(shè)定程序，精確控制溫度200oC~1500oC（或者1200oC~1700oC），樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

結(jié)構(gòu)&特點(diǎn)：

• 真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品

• 安裝有一個2英寸的樣品臺，并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻

• 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，高溫度可達(dá)到1500℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品

• 精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

• 氣體流量端口和閥門內(nèi)置用于腔室凈化和CVD可能性

• 基本參數(shù)：
  溫度：高1500℃（1200℃以上＜1h）

• 建議升溫速率：≤20℃/ min（需根據(jù)工藝調(diào)整）  

• 熱偶：B型或者S型熱偶

• 電源：AC220V，50Hz

• 大：6KW

溫控及加熱源：

采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制

• 采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃）

• 可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃）

• 安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1oC（如圖2）

• 溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200oC以下0.3oC/s（20oC/ min），在1200 - 1500oC限制到0.15oC/s（10oC/min）

儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝

樣品臺：

• 儀器頂部安裝有樣品臺，直徑為Φ50mm，并設(shè)置有擋板，方便控制蒸發(fā)鍍膜時(shí)間

• 樣品臺可旋轉(zhuǎn)，增加鍍膜均勻性

• 樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)

進(jìn)氣口：

• 進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜

• 進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量

• 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀-GSL-1700X-EV4

• 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝，并用戶可額外選購鎢絲籃及氧化鋁坩堝

真空計(jì)（可選）：可選購一數(shù)顯防腐真空計(jì)，測量范圍為：3.8x10-5-1125Torr

膜厚檢測儀（可選）：

• 可在本公司選購精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在濺射儀上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?

• LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

• 同時(shí)可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD

真空系統(tǒng)：

• 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵

• 采用渦旋分子泵真空可達(dá)1.0E-5Torr，極限真空度可達(dá)4.0E-6Torr

• 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr

• 真空度達(dá)到10-2torr時(shí)，可蒸發(fā)一些貴金屬，參考材料金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料，可選購數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.)

• 高真空度可達(dá)1.0E-5Torr（采用渦旋分子泵），此時(shí)可蒸發(fā)對氧敏感的材料，參考材料Al. Mg, Li，分子泵上帶有復(fù)合真空計(jì)

• （高可測量真空度為1.0E-7Torr）

• 可在本公司選購各種真空泵和真空計(jì)

• 可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

外形尺寸：490mm*330mm*560mm

質(zhì)量認(rèn)證：所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

使用提示：

• 為了獲得高真空度，可采用以下做法

（1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗

（2）抽真空時(shí)，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時(shí)

• 此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作，用于蒸鍍一些在常溫下對氧氣敏感的材料，比如金屬Li等，可在本公司選購開啟式手套箱VGB-6

科晶小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀

型號：GSL-1700X-SPC-2

使用注意事項(xiàng)：

• 使用溫度高于1300℃時(shí)，保溫時(shí)間不可大于1小時(shí)，否則會損壞密封圈

• 當(dāng)腔體的各閥門關(guān)閉時(shí)，請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱

• 當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時(shí)，不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時(shí)，才可放氣或關(guān)閉真空泵

• 蒸鍍電流不宜大于40A

• 如誤將控溫儀表設(shè)為手動狀態(tài)，程序?qū)⒉荒苷＿\(yùn)行

• 此設(shè)備儀表程序?yàn)槊耄?00℃之前升溫速度不宜大于0.5℃/S

• 如果用戶選購了STC-2型薄膜測厚儀，在選用取樣片時(shí)請按：鍍純金屬時(shí)用金取樣片，鍍合金時(shí)用銀取樣片

• 鎢絲籃必須在真空狀態(tài)下（＜5Pa才能通電加熱，否則會被氧化）