產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領域 | 電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
1、產(chǎn)品特點/用途:
?電子束鍍膜設備一體化設計,占地面積小,性價比高,性能穩(wěn)定,使用維護成本低;
?電子束鍍膜設備適用于實驗室制備金屬單質(zhì)膜、半導體膜、有機膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等;
?適用于制備光學薄膜、導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等。
2、技術(shù)參數(shù):
型號 | TEMD500/TEMD600 |
真空腔室結(jié)構(gòu) | 立式圓柱形側(cè)開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng) |
真空腔室尺寸 | Φ500×H650mm/Φ600×H750mm |
加熱溫度 | 室溫~300℃ |
旋轉(zhuǎn)基片臺 | 平板型Φ200mm/平板型Φ350mm(或球罩型基片臺) |
膜厚不均勻性 | ≤±5.0% |
考夫曼離子源 | 可選 |
蒸發(fā)源 | 電子槍8KW,6穴坩堝 國產(chǎn)進口可選,配3-3組電阻蒸發(fā) |
控制方式 | PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統(tǒng) |
占地面積 | 長×寬 L2500×W1600mm |
總功率 | ≥17KW |