ICP-MS質(zhì)譜儀是電感藕合等離子體質(zhì)譜，它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的高頻射頻信號在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質(zhì)譜是一個質(zhì)量篩選和分析器，通過選擇不同質(zhì)核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。

ICP-MS質(zhì)譜儀特點：
(1)多元素測量：可對多于7O種的元素(從Li到U)進行微量和痕量分析，檢測范圍從小于1 ppt到大于500 ppm，可達9個量級。
(2)光譜簡單：每一種元素(In除外)，均有一種同位素的譜線不受其他元素的譜線干擾。所以，在多元素測定時干擾少，此外，樣品中的有機相干擾小，可以測量有機相中的元素。
(3)靈敏度高：樣品量少，試劑用量少。
(4)速度快：通常的分析時間1～5 min(含清洗1～2rain).
(5)應(yīng)用靈活：自動設(shè)置并自動優(yōu)化測量條件。
(6)快速半定量分析：定量標(biāo)定少量元素之后，儀器可以根據(jù)同位素的相對靈敏度測定全部元素的含量，這種方法在進行元素篩選的時候十分有用。
(7)同位素測定：可進行穩(wěn)定同位素或放射性同位素的比值分析。
應(yīng)用領(lǐng)域：
(1)環(huán)境分析：土壤、水質(zhì)、空氣(包括大氣采樣)的污染程度及污染源項分析。
(2)臨床醫(yī)學(xué)：生物樣品中微量元素和有毒重金屬分析，如血液和尿液(樣品量僅需要0．2～0．5 m1)，已開展了職業(yè)病普查和兒童尿鉛普查等工作。
(3)藥學(xué)：藥物的質(zhì)量控制。
(4)食品及化妝品的安全性評價：微量元素和有毒重金屬元素分析。
(5)核醫(yī)學(xué)：同位素分析。
(6)電子工業(yè)：痕量金屬元素分析。
(7)地球科學(xué)：同位素比值及元素構(gòu)成分析，包括稀土元素分析。
(8)其他科學(xué)研究。