真空紫外分光光度計(jì)V1000用于115nm～300nm波長(zhǎng)范圍的光學(xué)特性評(píng)價(jià)。在真空紫外領(lǐng)域，因?yàn)檠鯕獾脑蛴泻軓?qiáng)的吸收，以前都是將光路做成真空測(cè)量，但是V-1000采用吹掃性能好的機(jī)箱，可以進(jìn)行氮?dú)獯祾吆鬁y(cè)量，樣品設(shè)置到測(cè)量開始可在短時(shí)間內(nèi)完成。另外，因?yàn)橐p單色器所以除去雜射光，監(jiān)控雙光束方式提高測(cè)光再現(xiàn)性。因此，在157nm實(shí)現(xiàn)0.03%的測(cè)光再現(xiàn)性。

真空紫外分光光度計(jì)V1000

規(guī)格

▼V-1000

大規(guī)模集成電路（Large Scale Integrated circuit）LSI的高集成化使制造過程的微型化進(jìn)一步發(fā)展，伴隨這個(gè)趨勢(shì)光刻使用光源的波長(zhǎng)向短波長(zhǎng)推移，現(xiàn)在ArF激光(193nm)是主流。為了對(duì)應(yīng)微細(xì)化線寬0.07μm，研究了F2激光(157nm)實(shí)用化。因此，有必要對(duì)光刻機(jī)上使用的鏡頭以及反光鏡等光學(xué)部件在真空紫外領(lǐng)域的光學(xué)特性進(jìn)行正確的評(píng)價(jià)。