PECVD 多功能PECVD
參考價(jià) | ¥ 500000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
- 品牌
- 型號(hào) PECVD
- 產(chǎn)地 北京大興
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/7/29 15:57:10
- 訪問次數(shù) 423
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 30萬-50萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,電氣 |
團(tuán)簇式多功能PECVD
該系列PECVD系統(tǒng)具有固態(tài)等離子源、分開式反應(yīng)氣體進(jìn)氣系統(tǒng),動(dòng)態(tài)襯底溫控,全面控制真空系統(tǒng),采用集中現(xiàn)場(chǎng)控制總線技術(shù)的“值守精靈”控制軟件,以及友好用戶操作界面來操作。適用于室溫至1400℃條件下進(jìn)行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉積,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態(tài)或氣態(tài)源沉積其它材料,尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。
清洗鍍膜一氣呵成,杜絕二次污染;上開啟結(jié)構(gòu),式樣觀察方便;觸屏人機(jī)對(duì)話整體性操作,安全可靠;多功能PECVD采用全自動(dòng)控制方式,觸摸屏,數(shù)字化顯示;真空系統(tǒng)、工作壓強(qiáng)、電源系統(tǒng)及自動(dòng)匹配、工藝氣體流量、加熱系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、工藝過程、系統(tǒng)監(jiān)控及數(shù)據(jù)采集等。