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預(yù)算超2.8億！中國科學(xué)院微電子研究所近期采購意向來了
2025年02月17日 11:23:10
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：6575
近期，中國科學(xué)院微電子研究所連續(xù)發(fā)布多項儀器設(shè)備采購意向，預(yù)算金額達28366萬元。涉及儀器設(shè)備包括全自動光學(xué)顯微鏡、刻蝕設(shè)備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備、干法去膠機等。
近期，中國科學(xué)院微電子研究所連續(xù)發(fā)布多項儀器設(shè)備采購意向，預(yù)算金額達28366萬元。涉及儀器設(shè)備包括全自動光學(xué)顯微鏡、刻蝕設(shè)備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備、干法去膠機等。預(yù)計采購時間2025年3至6月。
采購意向只是政府采購的初步安排，具體采購情況以中國科學(xué)院微電子研究所發(fā)布的采購公告和采購文件為準，有意向的企業(yè)可持續(xù)關(guān)注該研究所發(fā)布的招標信息。
中國科學(xué)院微電子研究所采購預(yù)算匯總
| 采購項目名稱 | 采購需求概況 | 預(yù)算金額（萬元） | 預(yù)計采購日期 |
| 硅片 | 制備半導(dǎo)體器件，數(shù)量700片 | 150 | 2025年02月 |
| 4G-LTE Cat.1通信SOC芯片晶圓 | 4G-LTE Cat.1通信的SOC芯片及其配套的PMIC芯片，晶圓數(shù)量各1張 | 160 | 2025年03月 |
| 高溫集成電路與元器件 | 高溫集成電路與元器件 | 140 | 2025年03月 |
| 全自動光學(xué)顯微鏡 | 全自動光學(xué)顯微鏡1臺 | 150 | 2025年04月 |
| 新型存儲器刻蝕系統(tǒng) | 新型存儲器刻蝕系統(tǒng)1臺 | 1500 | 2025年04月 |
| 激光發(fā)生裝置 | 激光發(fā)生裝置 | 130 | 2025年04月 |
| 12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設(shè)備 | 12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設(shè)備1臺 | 3800 | 2025年04月 |
| 數(shù)?；旌暇C合老化系統(tǒng) | 數(shù)?；旌暇C合老化系統(tǒng)1臺 | 114 | 2025年04月 |
| 穩(wěn)態(tài)熱阻測試系統(tǒng) | 穩(wěn)態(tài)熱阻測試系統(tǒng)1臺 | 115 | 2025年04月 |
| 三維集成封裝動態(tài)數(shù)字全息顯微分析儀 | 三維集成封裝動態(tài)數(shù)字全息顯微分析儀1臺 | 252 | 2025年05月 |
| 低溫變頻C-V測試設(shè)備 | 低溫變頻C-V測試設(shè)備 | 350 | 2025年05月 |
| 透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質(zhì)譜(SIMS)等半導(dǎo)體測試分析 | 透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質(zhì)譜(SIMS)等半導(dǎo)體測試分析 | 1000 | 2025年05月 |
| 離子刻蝕機 | 離子刻蝕機1臺 | 810 | 2025年05月 |
| 光譜檢測儀 | 日本橫河 AQ6380 光譜檢測儀1 臺 | 100 | 2025年06月 |
| 低頻阻抗分析儀 | 低頻阻抗分析儀1 臺 | 100 | 2025年06月 |
| X射線光電子能譜儀 | X射線光電子能譜儀 | 900 | 2025年06月 |
| 激光隱形切割成套設(shè)備 | 激光隱形切割成套設(shè)備 | 1000 | 2025年06月 |
| 12吋晶圓等離子劃片機 | 12吋晶圓等離子劃片機 | 1880 | 2025年06月 |
| 12吋晶圓級激光去膠開槽設(shè)備 | 12吋晶圓級激光去膠開槽設(shè)備 | 800 | 2025年06月 |
| 12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設(shè)備 | 12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設(shè)備 | 5300 | 2025年06月 |
| 翹曲測量儀 | 翹曲測量儀 | 620 | 2025年06月 |
| 12吋物理氣相沉積設(shè)備 | 12吋物理氣相沉積設(shè)備 | 2300 | 2025年06月 |
| PVTC-A1比容量儀 | PVTC-A1比容量儀 | 245 | 2025年06月 |
| 流片 | 流片50顆 | 100 | 2025年06月 |
| 低噪聲高頻信號發(fā)生器 | 低噪聲高頻信號發(fā)生器1臺 | 180 | 2025年06月 |
| high-K介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備 | high-K介質(zhì)電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備1臺 | 900 | 2025年06月 |
| 干法去膠機 | 干法去膠機1臺 | 200 | 2025年06月 |
| 高深寬比橫向濕法刻蝕設(shè)備 | 高深寬比橫向濕法刻蝕設(shè)備1臺 | 1210 | 2025年06月 |
| 金屬及金屬氧化物原子層沉積設(shè)備 | 金屬及金屬氧化物原子層沉積設(shè)備1臺 | 1800 | 2025年06月 |
| 金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備 | 金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備1臺 | 860 | 2025年06月 |
| 等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備 | 等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備1臺 | 1200 | 2025年06月 |
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